[实用新型]一种电离真空计的防护装置及电离真空计有效
申请号: | 202222966163.8 | 申请日: | 2022-11-08 |
公开(公告)号: | CN218724983U | 公开(公告)日: | 2023-03-24 |
发明(设计)人: | 沈健超 | 申请(专利权)人: | 芯恩(青岛)集成电路有限公司 |
主分类号: | G01L21/30 | 分类号: | G01L21/30 |
代理公司: | 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙) 11479 | 代理人: | 王立红 |
地址: | 266246 山东省青岛*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电离 真空计 防护 装置 | ||
1.一种电离真空计的防护装置,其特征在于,包括:
插入部,为圆筒状,所述插入部的出口用于插入电离真空计的用于抽气的连接管内;
防护部,设于所述插入部的入口侧,包括连接框架及设于所述连接框架内的网格面,所述网格面具有预定目数;
阻挡片,设于所述插入部的出口与入口之间的内壁上,且所述阻挡片的底部与所述防护部之间间隔预定间距;所述阻挡片的底部与所述插入部的内壁固定连接,所述阻挡片的顶部向所述防护部一侧倾斜设置,所述阻挡片用于阻挡并二次收集碎屑。
2.根据权利要求1所述的电离真空计的防护装置,其特征在于,所述阻挡片为圆弧形阻挡片,所述阻挡片的底边为圆弧形,所述阻挡片的顶边为直线形、曲线形或者圆弧形。
3.根据权利要求2所述的电离真空计的防护装置,其特征在于,所述阻挡片的顶部向所述防护部一侧倾斜18.4-90度。
4.根据权利要求3所述的电离真空计的防护装置,其特征在于,所述阻挡片设于所述防护部的后侧,所述阻挡片的底部与所述防护部之间间隔距离大于或者等于所述插入部长度的二分之一、小于等于所述插入部长度的三分之二。
5.根据权利要求4所述的电离真空计的防护装置,其特征在于,所述阻挡片的高度大于等于所述插入部半径的一半、小于等于所述插入部的半径。
6.根据权利要求5所述的电离真空计的防护装置,其特征在于,所述阻挡片的厚度为1-2mm。
7.根据权利要求1所述的电离真空计的防护装置,其特征在于,所述连接框架的外侧设连接部,通过所述连接部将所述连接框架可拆卸连接于电离真空计的连接管的入口处。
8.根据权利要求1所述的电离真空计的防护装置,其特征在于,所述插入部的内径与所述网格面的直径相同。
9.根据权利要求8所述的电离真空计的防护装置,其特征在于,所述网格面的目数大于等于32mesh、小于等于115mesh。
10.一种电离真空计,包括连接管,所述连接管与电离真空计内腔连通,其特征在于,所述连接管的抽气口处连接如权利要求1-9中任一项所述的防护装置。
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