[实用新型]工业废气热处理装置有效

专利信息
申请号: 202222938283.7 申请日: 2022-11-04
公开(公告)号: CN218774546U 公开(公告)日: 2023-03-31
发明(设计)人: 李敏凯;陈康 申请(专利权)人: 中微半导体设备(上海)股份有限公司
主分类号: B01D53/00 分类号: B01D53/00;B01D53/46;B08B9/087
代理公司: 上海元好知识产权代理有限公司 31323 代理人: 张双红;张静洁
地址: 201201 上海市浦东新*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种工业废气热处理装置,包括:热解腔,其设置有进气口,进气口用于向热解腔内通入工业废气;电热柱,位于热解腔室内,用于加热工业废气,以使工业废气发生热分解,热分解的过程中电热柱上附着有沉积物;刮板,设置在热解腔内,用于刮除电热柱上的沉积物;驱动装置,用于驱动刮板沿电热柱往复运动;冷却腔,与热解腔连通,其用于对热解腔内热分解后的气体以及刮板刮下的沉积物进行冷却,冷却腔还设置有出气口,出气口排出冷却腔内的气体。本实用新型能够降低对工业废气的处理成本。
搜索关键词: 工业 废气 热处理 装置
【主权项】:
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