[实用新型]工业废气热处理装置有效

专利信息
申请号: 202222938283.7 申请日: 2022-11-04
公开(公告)号: CN218774546U 公开(公告)日: 2023-03-31
发明(设计)人: 李敏凯;陈康 申请(专利权)人: 中微半导体设备(上海)股份有限公司
主分类号: B01D53/00 分类号: B01D53/00;B01D53/46;B08B9/087
代理公司: 上海元好知识产权代理有限公司 31323 代理人: 张双红;张静洁
地址: 201201 上海市浦东新*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 工业 废气 热处理 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种工业废气热处理装置,包括:热解腔,其设置有进气口,进气口用于向热解腔内通入工业废气;电热柱,位于热解腔室内,用于加热工业废气,以使工业废气发生热分解,热分解的过程中电热柱上附着有沉积物;刮板,设置在热解腔内,用于刮除电热柱上的沉积物;驱动装置,用于驱动刮板沿电热柱往复运动;冷却腔,与热解腔连通,其用于对热解腔内热分解后的气体以及刮板刮下的沉积物进行冷却,冷却腔还设置有出气口,出气口排出冷却腔内的气体。本实用新型能够降低对工业废气的处理成本。

技术领域

本实用新型涉及一种工业设备尾气热解处理技术领域,尤其涉及一种工业废气热处理装置。

背景技术

很多工业设备在运行时,会产生大量含氢化磷的尾气,氢化磷具有腐蚀性和毒性,不能直接排放至大气中。现有技术往往采用吸附剂吸附氢化磷,效率比较低,且成本比较高。

因此,迫切需要一种新型的工业废气热处理装置,以低成本地将氢化磷处理为无毒物质。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种工业废气热处理装置,以实现对工业废气中的氢化磷热分解处理,提高处理效率,降低处理成本的目的。

为了实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案实现:

一种工业废气热处理装置,包括:热解腔,其设置有进气口,所述进气口用于向所述热解腔内通入工业废气;电热柱,位于所述热解腔室内,用于加热所述工业废气,以使所述工业废气发生热分解,所述热分解的过程中所述电热柱上附着有沉积物。刮板,设置在所述热解腔内,用于刮除所述电热柱上的沉积物。驱动装置,用于驱动所述刮板沿所述电热柱往复运动;冷却腔,与所述热解腔连通,其用于对所述热解腔内热分解后的气体以及刮板刮下的沉积物进行冷却,所述冷却腔还设置有出气口,所述出气口排出所述冷却腔内的气体。

可选地,所述电热柱的顶端和底端分别与所述热解腔的顶部和底部连接;所述刮板横向设置在所述热解腔内,所述刮板设置有贯穿其厚度的通孔;所述电热柱穿过所述通孔,所述刮板在所述驱动装置的驱动作用下可沿所述电热柱的长度方向上下移动;所述驱动装置包括驱动轴和驱动机构,所述驱动机构用于为所述驱动轴提供驱动力;所述驱动轴贯穿所述刮板,且两者相互匹配连接。

可选地,第一隔板,横向设置在所述热解腔内,将所述热解腔室分成热解上腔室和热解下腔室。所述第一隔板设置有第一过孔,所述第一过孔设置在所述第一隔板远离所述进气口的一侧,所述第一过孔使所述热解上腔室和所述热解下腔室的内部空间相互连通。

可选地,所述电热柱穿过所述第一隔板设置,位于所述热解上腔室内的电热柱用于对热解上腔室内的工业废气进行加热,位于所述热解下腔室内的电热柱用于对热解下腔室内的工业废气进行加热。

可选地,所述热解上腔室内设置一第一电热柱,所述第一电热柱的两端分别与热解上腔室的顶部以及第一隔板的顶部表面相连,所述热解下腔室内设置一第二电热柱,所述第二电热柱的两端分别与热解下腔室的顶部以及第一隔板的底部表面相连。可选地,所述刮板包括设置在所述热解上腔室内的上刮板和设置在所述热解下腔室内的下刮板,所述上刮板用于刮除所述热解上腔室内的电热柱或第一电热柱上的沉积物;所述下刮板用于刮除所述热解下腔室内的电热柱或第二电热柱上的沉积物。

可选地,所述驱动轴贯穿所述第一隔板;所述驱动轴包括从上至下依次设置的第一螺纹部、第一转动部、第二螺纹部、第二转动部和第三螺纹部。所述第一螺纹部和所述第二螺纹部的螺纹方向相反,所述第一螺纹部和所述上刮板螺纹连接,所述第二螺纹部和所述下刮板螺纹连接,所述第一转动部穿过所述第一隔板并和所述第一隔板转动连接,所述第二转动部穿过所述热解下腔室的底部并和所述热解下腔室的底部转动连接,所述第三螺纹部设置在所述冷却腔内。

可选地,还包括:刮环,其设置在所述冷却腔内,与所述驱动轴的所述第三螺纹部连接,所述第三螺纹部驱动所述刮环沿所述冷却腔的竖直方向往复运动以去除所述冷却腔内侧壁上的沉积物。

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