[实用新型]工业废气热处理装置有效
申请号: | 202222938283.7 | 申请日: | 2022-11-04 |
公开(公告)号: | CN218774546U | 公开(公告)日: | 2023-03-31 |
发明(设计)人: | 李敏凯;陈康 | 申请(专利权)人: | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 |
主分类号: | B01D53/00 | 分类号: | B01D53/00;B01D53/46;B08B9/087 |
代理公司: | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人: | 张双红;张静洁 |
地址: | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工业 废气 热处理 装置 | ||
1.一种工业废气热处理装置,其特征在于,包括:
热解腔,其设置有进气口,所述进气口用于向所述热解腔内通入工业废气;电热柱,位于所述热解腔室内,用于加热所述工业废气,以使所述工业废气发生热分解,所述热分解的过程中所述电热柱上附着有沉积物;
刮板,设置在所述热解腔内,用于刮除所述电热柱上的沉积物;
驱动装置,用于驱动所述刮板沿所述电热柱往复运动;
冷却腔,与所述热解腔连通,其用于对所述热解腔内热分解后的气体以及刮板刮下的沉积物进行冷却,所述冷却腔还设置有出气口,所述出气口排出所述冷却腔内的气体。
2.如权利要求1所述的工业废气热处理装置,其特征在于,所述电热柱的顶端和底端分别与所述热解腔的顶部和底部连接;所述刮板横向设置在所述热解腔内,所述刮板设置有贯穿其厚度的通孔;所述电热柱穿过所述通孔,所述刮板在所述驱动装置的驱动作用下可沿所述电热柱的长度方向上下移动;所述驱动装置包括驱动轴和驱动机构,所述驱动机构用于为所述驱动轴提供驱动力;所述驱动轴贯穿所述刮板,且两者相互匹配连接。
3.如权利要求2所述的工业废气热处理装置,其特征在于,第一隔板,横向设置在所述热解腔内,将所述热解腔室分成热解上腔室和热解下腔室;
所述第一隔板设置有第一过孔,所述第一过孔设置在所述第一隔板远离所述进气口的一侧,所述第一过孔使所述热解上腔室和所述热解下腔室的内部空间相互连通。
4.如权利要求3所述的工业废气热处理装置,其特征在于,
所述电热柱穿过所述第一隔板设置,位于所述热解上腔室内的电热柱用于对热解上腔室内的工业废气进行加热,位于所述热解下腔室内的电热柱用于对热解下腔室内的工业废气进行加热。
5.如权利要求3所述的工业废气热处理装置,其特征在于,
所述热解上腔室内设置一第一电热柱,所述第一电热柱的两端分别与热解上腔室的顶部以及第一隔板的顶部表面相连,所述热解下腔室内设置一第二电热柱,所述第二电热柱的两端分别与热解下腔室的顶部以及第一隔板的底部表面相连。
6.如权利要求4或5所述的工业废气热处理装置,其特征在于,所述刮板包括设置在所述热解上腔室内的上刮板和设置在所述热解下腔室内的下刮板,所述上刮板用于刮除所述热解上腔室内的电热柱或第一电热柱上的沉积物;所述下刮板用于刮除所述热解下腔室内的电热柱或第二电热柱上的沉积物。
7.如权利要求6所述的工业废气热处理装置,其特征在于,
所述驱动轴贯穿所述第一隔板;所述驱动轴包括从上至下依次设置的第一螺纹部、第一转动部、第二螺纹部、第二转动部和第三螺纹部;
所述第一螺纹部和所述第二螺纹部的螺纹方向相反,所述第一螺纹部和所述上刮板螺纹连接,所述第二螺纹部和所述下刮板螺纹连接,所述第一转动部穿过所述第一隔板并和所述第一隔板转动连接,所述第二转动部穿过所述热解下腔室的底部并和所述热解下腔室的底部转动连接,所述第三螺纹部设置在所述冷却腔内。
8.如权利要求7所述的工业废气热处理装置,其特征在于,
还包括:刮环,其设置在所述冷却腔内,与所述驱动轴的所述第三螺纹部连接,所述第三螺纹部驱动所述刮环沿所述冷却腔的竖直方向往复运动以去除所述冷却腔内侧壁上的沉积物。
9.如权利要求8所述的工业废气热处理装置,其特征在于,
所述刮环包括环形本体,螺纹套和连接杆,所述螺纹套与所述第三螺纹部螺纹连接;
所述环形本体套设在所述螺纹套外围,通过所述连接杆与所述螺纹套的外侧壁固定连接。
10.如权利要求9所述的工业废气热处理装置,其特征在于,还包括:导向凸起,其设置在所述冷却腔的内侧壁上,且沿竖直方向延伸;
所述环形本体的外侧设有与所述导向凸起相匹配的导向槽,所述导向凸起嵌入所述导向槽内并和所述导向槽滑动连接。
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