[实用新型]一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置有效
| 申请号： | 202222893506.2 | 申请日： | 2022-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN219052314U | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 李志强;赵义党;廖文晗 | 申请（专利权）人： | 珠海恒格微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 牛丽霞 |
| 地址： | 519000 广东省珠海*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开的一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置，包括箱体和腔室门，腔室门用于真空工作的箱体敞口处的封盖；箱体两侧分别设置有两组同步控制腔室门上下升降运动便于箱体敞口处让位打开的盖门升降部；腔室门两侧与两组盖门升降部之间还分别设置有两组用于控制腔室门前后进给运动、对箱体敞口密封封盖的盖门密封部；通过腔室门控制装置实现清洗工作腔的自动密封开合控制，有效配合生产线的自动化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 蚀刻 清洗 门控 装置 | ||
【主权项】：
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