[实用新型]一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置

说明书

本实用新型公开的一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置，包括箱体和腔室门，腔室门用于真空工作的箱体敞口处的封盖；箱体两侧分别设置有两组同步控制腔室门上下升降运动便于箱体敞口处让位打开的盖门升降部；腔室门两侧与两组盖门升降部之间还分别设置有两组用于控制腔室门前后进给运动、对箱体敞口密封封盖的盖门密封部；通过腔室门控制装置实现清洗工作腔的自动密封开合控制，有效配合生产线的自动化生产。

【技术领域】

本实用新型涉及等离子清洗技术，尤其涉及一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置。

【背景技术】

等离子清洗蚀刻设备，其工作原理是，在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面，被清洗产品的表面材料变成颗粒和气态物质并被释放出来，再通过抽真空来达到清洗产品表面处理的目的。

由于等离子清洗蚀刻设备工作腔是在真空条件下工作，其工作腔的密封显得尤为重要，现有的等离子清洗设备通常具有一端或两端敞开的工作腔，工作腔的敞开端采用可升降的腔室门封闭，但是这样的方式具有密封性不佳、容易泄漏的问题，影响清洗质量以及车间环境。

【实用新型内容】

本实用新型提供一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置，能够自动封闭密封工作腔的敞开端，具有结构简单、控制方便，有效配合生产线的自动化生产。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置，用于清洗工作腔的自动密封开合控制，包括箱体和腔室门，所述腔室门用于真空工作的箱体敞口处的封盖：

所述箱体两侧分别设置有两组同步控制所述腔室门上下升降运动便于箱体敞口处让位打开的盖门升降部；

所述腔室门两侧与两组盖门升降部之间还分别设置有两组用于控制所述腔室门前后进给运动、对所述箱体敞口密封封盖的盖门密封部。

优选地，每组所述盖门升降部包括直线升降滑轨组件和升降气缸驱动组件，所述腔室门两侧分别设有与直线升降滑轨组件上的滑块连接的L形支撑板；

所述升降气缸驱动组件驱动所述L形支撑板沿所述直线升降滑轨组件上直线导轨上下升降动作、并同步驱动所述腔室门上下直线升降运动。

优选地，所述腔室门两侧与所述L形支撑板之间设有两组控制腔室门前后直线进给对箱体敞口密封封盖的盖门密封部，每组所述盖门密封部包括气缸固定座和密封驱动气缸，所述密封驱动气缸通过气缸固定座安装固定于所述L形支撑板内侧面，所述密封驱动气缸的活塞端面与所述腔室门边侧端面固定连接。

优选地，所述腔室门边侧与所述L形支撑板之间还设有分别位于所述密封驱动气缸上下两侧、用于对所述腔室门前后直线进给进行导向的前后直线进给滑轨组件，该前后直线进给滑轨组件包括进给滑轨、进给滑块和滑块座，所述进给滑轨安装固定于所述L形支撑板内侧面，所述进给滑块通过滑块座竖直安装于所述腔室门边侧端面、并与所述进给滑轨滑动配合。

优选地，所述箱体敞口外缘还套装有与所述腔室门内侧面密封配合的密封圈。

上述技术方案的有益效果是：

该等离子清洗蚀刻设备的腔室门采用自动开合的控制方式，通过腔室门控制装置实现腔室门的自动上下升降和前后进给运动，实现真空工作箱体敞口料口处的自动打开和自动关闭，便于PCB板物料的自动上下料控制，有效地与生产线的自动优化配合，提高生产效率。

【附图说明】

图1是本实用新型实施例一的左视立体结构示意图；

图2是本实用新型实施例一的右视立体结构示意图；

图3是本实用新型实施例一的部分结构爆炸示意图；