[实用新型]一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置

权利要求书

1.一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置，用于清洗工作腔的自动密封开合控制，其特征在于，包括箱体和腔室门，所述腔室门用于真空工作的箱体敞口处的封盖；

所述箱体两侧分别设置有两组同步控制所述腔室门上下升降运动便于箱体敞口处让位打开的盖门升降部；

所述腔室门两侧与两组盖门升降部之间还分别设置有两组用于控制所述腔室门前后进给运动、对所述箱体敞口密封封盖的盖门密封部。

2.根据权利要求1所述的一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置，其特征在于：每组所述腔室门升降部包括直线升降滑轨组件和升降气缸驱动组件，所述腔室门两侧分别设有与直线升降滑轨组件上的滑块连接的L形支撑板；

所述升降气缸驱动组件驱动所述L形支撑板沿所述直线升降滑轨组件上直线导轨上下升降动作、并同步驱动所述腔室门上下直线升降运动。

3.根据权利要求2所述的一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置，其特征在于：所述腔室门两侧与所述L形支撑板之间设有两组控制腔室门前后直线进给对箱体敞口密封封盖的腔室门密封部，每组所述腔室门密封部包括气缸固定座和密封驱动气缸，所述密封驱动气缸通过气缸固定座安装固定于所述L形支撑板内侧面，所述密封驱动气缸的活塞端面与所述腔室门边侧端面固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置，其特征在于：所述腔室门边侧与所述L形支撑板之间还设有分别位于所述密封驱动气缸上下两侧、用于对所述腔室门前后直线进给进行导向的前后直线进给滑轨组件，该前后直线进给滑轨组件包括进给滑轨、进给滑块和滑块座，所述进给滑轨安装固定于所述L形支撑板内侧面，所述进给滑块通过滑块座竖直安装于所述腔室门边侧端面、并与所述进给滑轨滑动配合。

5.根据权利要求1所述的一种等离子蚀刻清洗机的腔体门控制装置，其特征在于：所述箱体敞口外缘还套装有与所述腔室门内侧面密封配合的密封圈。