[实用新型]一种电极装置及镀膜设备有效
| 申请号： | 202222834301.7 | 申请日： | 2022-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN218860849U | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 龚文博;刘通海;毕飞飞;姜天豪;胡鹏;蓝树槐 | 申请（专利权）人： | 上海治臻新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 11444 | 代理人： | 张维 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区自由*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种电极装置及镀膜设备，镀膜设备具有真空腔体和连接件，连接件连接于真空腔体的外部，电极装置可拆卸地安装于连接件，电极装置包括电极杆、绝缘部和至少一个密封件，电极杆的一端用于与电源连接，另一端通过连接件伸入真空腔体内部，至少部分绝缘部位于电极杆与连接件之间，且电极杆通过绝缘部安装于连接件，密封件位于绝缘部与连接件之间，和/或，位于绝缘部与电极杆之间。这样的设计不仅有利于提高电极杆的绝缘性能，同时，还有利于提高真空腔体的密封性，降低外界空气进入到真空腔体内部的可能，从而有利于提高镀膜设备工作的稳定性。且电极装置的维修更换较为简便且成本较低，有利于延长电极装置的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 装置 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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