[实用新型]一种电极装置及镀膜设备

说明书

本申请涉及一种电极装置及镀膜设备，镀膜设备具有真空腔体和连接件，连接件连接于真空腔体的外部，电极装置可拆卸地安装于连接件，电极装置包括电极杆、绝缘部和至少一个密封件，电极杆的一端用于与电源连接，另一端通过连接件伸入真空腔体内部，至少部分绝缘部位于电极杆与连接件之间，且电极杆通过绝缘部安装于连接件，密封件位于绝缘部与连接件之间，和/或，位于绝缘部与电极杆之间。这样的设计不仅有利于提高电极杆的绝缘性能，同时，还有利于提高真空腔体的密封性，降低外界空气进入到真空腔体内部的可能，从而有利于提高镀膜设备工作的稳定性。且电极装置的维修更换较为简便且成本较低，有利于延长电极装置的使用寿命。

技术领域

本申请涉及真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种电极装置及镀膜设备。

背景技术

随着技术的发展，在镀膜设备中会通过电极将偏压电势引入到真空腔室中，然而，现有电极的绝缘性能以及密封性能较差，会对镀膜设备工作的稳定性造成影响。

实用新型内容

本申请提供了一种电极装置及镀膜设备，用于解决电极的绝缘性能及密封性能较差的问题。

本申请实施例提供了一种电极装置，用于镀膜设备，所述镀膜设备具有真空腔体和连接件，所述连接件连接于所述真空腔体的外部，所述电极装置可拆卸地安装于所述连接件，所述电极装置包括电极杆、绝缘部以及至少一个密封件，所述电极杆的一端用于与电源连接，另一端通过所述连接件伸入所述真空腔体内部，至少部分所述绝缘部位于所述电极杆与所述连接件之间，且所述电极杆通过所述绝缘部安装于所述连接件，所述密封件位于所述绝缘部与所述连接件之间，和/或，位于所述绝缘部与所述电极杆之间。

在一种可能的实施方式中，所述绝缘部包括第一绝缘件，所述电极杆包括延伸部，所述延伸部沿所述电极杆的径向方向延伸，所述第一绝缘件一端与所述延伸部抵接，另一端与所述连接件抵接，所述第一绝缘件沿自身轴向方向开设有第一安装槽，用于安装所述密封件。

在一种可能的实施方式中，所述电极装置包括两个所述密封件，所述第一绝缘件靠近所述连接件的一端开设有所述第一安装槽，所述延伸部靠近所述第一绝缘件的一端开设有第二安装槽，所述第二安装槽沿所述电极杆的轴向方向延伸，两个所述密封件分别位于所述第一安装槽与所述第二安装槽。

在一种可能的实施方式中，所述第一绝缘件沿自身径向方向开设有至少一个避让槽，所述避让槽向远离所述电极杆的方向延伸，用于避让粉尘，所述避让槽沿所述第一绝缘件的轴向方向的尺寸D满足：2mm≤D≤6mm。

在一种可能的实施方式中，所述第一绝缘件开设有三个所述避让槽，所述避让槽沿所述第一绝缘件的周向设置，且三个所述避让槽沿所述第一绝缘件的轴向排布。

在一种可能的实施方式中，所述绝缘部包括第二绝缘件，所述第二绝缘件与所述连接件连接，所述第二绝缘件位于所述电极杆沿径向方向的一侧，所述第二绝缘件包括限位部，所述限位部沿所述第二绝缘件的径向方向延伸，所述电极杆包括延伸部，所述延伸部能够与所述限位部配合，以限制所述电极杆的位置。

在一种可能的实施方式中，所述第二绝缘件开设有安装孔，所述电极装置还包括安装件，所述安装件能够与所述安装孔配合，所述第二绝缘件通过所述安装件与所述连接件连接。

在一种可能的实施方式中，所述电极装置包括多个所述第二绝缘件和多个所述安装件，所述第二绝缘件沿所述电极杆的周向布置，所述第二绝缘件通过对应的所述安装件与所述连接件连接。

在一种可能的实施方式中，所述电极杆沿轴向方向具有第一配合端和第二配合端，所述第一配合端用于与所述电源螺纹连接，所述第二配合端开设有至少一个配合孔，所述电极杆通过所述配合孔与所述真空腔体内部螺纹连接。

本申请实施例还提供了一种镀膜设备，包括真空腔体和电极装置，所述真空腔体外侧连接有连接件，所述电极装置为以上任一项中的电极装置，所述电极装置可拆卸地安装于所述连接件。