[实用新型]一种电极装置及镀膜设备

权利要求书

1.一种电极装置，用于镀膜设备，所述镀膜设备具有真空腔体和连接件(1)，所述连接件(1)连接于所述真空腔体的外部，所述电极装置可拆卸地安装于所述连接件(1)，其特征在于，所述电极装置包括：

电极杆(2)，所述电极杆(2)的一端用于与电源连接，另一端通过所述连接件(1)伸入所述真空腔体内部；

绝缘部(3)，至少部分所述绝缘部(3)位于所述电极杆(2)与所述连接件(1)之间，且所述电极杆(2)通过所述绝缘部(3)安装于所述连接件(1)；

至少一个密封件(4)，所述密封件(4)位于所述绝缘部(3)与所述连接件(1)之间，和/或，位于所述绝缘部(3)与所述电极杆(2)之间。

2.根据权利要求1所述的电极装置，其特征在于，所述绝缘部(3)包括第一绝缘件(31)，所述电极杆(2)包括延伸部(21)，所述延伸部(21)沿所述电极杆(2)的径向方向延伸，所述第一绝缘件(31)一端与所述延伸部(21)抵接，另一端与所述连接件(1)抵接；

所述第一绝缘件(31)沿自身轴向方向开设有第一安装槽(311)，用于安装所述密封件(4)。

3.根据权利要求2所述的电极装置，其特征在于，所述电极装置包括两个所述密封件(4)，所述第一绝缘件(31)靠近所述连接件(1)的一端开设有所述第一安装槽(311)，所述延伸部(21)靠近所述第一绝缘件(31)的一端开设有第二安装槽(211)，所述第二安装槽(211)沿所述电极杆(2)的轴向方向延伸；

两个所述密封件(4)分别位于所述第一安装槽(311)与所述第二安装槽(211)。

4.根据权利要求2所述的电极装置，其特征在于，所述第一绝缘件(31)沿自身径向方向开设有至少一个避让槽(312)，所述避让槽(312)向远离所述电极杆(2)的方向延伸，用于避让粉尘；

所述避让槽(312)沿所述第一绝缘件(31)的轴向方向的尺寸D满足：2mm≤D≤6mm。

5.根据权利要求4所述的电极装置，其特征在于，所述第一绝缘件(31)开设有三个所述避让槽(312)，所述避让槽(312)沿所述第一绝缘件(31)的周向设置，且三个所述避让槽(312)沿所述第一绝缘件(31)的轴向排布。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的电极装置，其特征在于，所述绝缘部(3)包括第二绝缘件(32)，所述第二绝缘件(32)与所述连接件(1)连接，所述第二绝缘件(32)位于所述电极杆(2)沿径向方向的一侧；

所述第二绝缘件(32)包括限位部(321)，所述限位部(321)沿所述第二绝缘件(32)的径向方向延伸，所述电极杆(2)包括延伸部(21)，所述延伸部(21)能够与所述限位部(321)配合，以限制所述电极杆(2)的位置。

7.根据权利要求6所述的电极装置，其特征在于，所述第二绝缘件(32)开设有安装孔，所述电极装置还包括安装件(5)，所述安装件(5)能够与所述安装孔配合，所述第二绝缘件(32)通过所述安装件(5)与所述连接件(1)连接。

8.根据权利要求7所述的电极装置，其特征在于，所述电极装置包括多个所述第二绝缘件(32)和多个所述安装件(5)，所述第二绝缘件(32)沿所述电极杆(2)的周向布置，所述第二绝缘件(32)通过对应的所述安装件(5)与所述连接件(1)连接。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的电极装置，其特征在于，所述电极杆(2)沿轴向方向具有第一配合端(22)和第二配合端(23)，所述第一配合端(22)用于与所述电源螺纹连接，所述第二配合端(23)开设有至少一个配合孔(231)，所述电极杆(2)通过所述配合孔(231)与所述真空腔体内部螺纹连接。

10.一种镀膜设备，其特征在于，包括：

真空腔体，所述真空腔体外侧连接有连接件(1)；

电极装置，所述电极装置为权利要求1至9中任一项所述的电极装置，所述电极装置可拆卸地安装于所述连接件(1)。