[实用新型]一种匀胶显影机的晶圆拿取装置有效
| 申请号： | 202222771083.7 | 申请日： | 2022-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN218383660U | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 吴萍;罗词雷 | 申请（专利权）人： | 江西维易科半导体科技有限公司;江西维易尔半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/30 |
| 代理公司： | 南昌合达信知识产权代理事务所(普通合伙) 36142 | 代理人： | 吴凑生 |
| 地址： | 334000 江西省上饶*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆拿取技术领域，具体涉及一种匀胶显影机的晶圆拿取装置。本实用新型提供一种能多角度拿取晶圆的匀胶显影机的晶圆拿取装置。本实用新型提供了这样一种匀胶显影机的晶圆拿取装置，包括有基座、控制终端、电机和辅助拿取机构等；基座上设置有用于控制本装置对晶圆进行精准拿取的控制终端，基座中心设置有用于为拿取晶圆提供动力支持的电机，基座还设有用于对晶圆的进行精准拿取的辅助拿取机构。通过旋转臂、转动臂和拿取块的转动配合，能对处在不同角度的晶圆进行拿取，通过气缸带动伸缩杆和与伸缩杆连接的零部件进行升降，实现对处在不同高度的晶圆进行有效拿取，从而便捷的对晶圆进行拿取。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 晶圆拿取 装置 | ||
【主权项】：
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