[实用新型]一种匀胶显影机的晶圆拿取装置

说明书

本实用新型涉及晶圆拿取技术领域，具体涉及一种匀胶显影机的晶圆拿取装置。本实用新型提供一种能多角度拿取晶圆的匀胶显影机的晶圆拿取装置。本实用新型提供了这样一种匀胶显影机的晶圆拿取装置，包括有基座、控制终端、电机和辅助拿取机构等；基座上设置有用于控制本装置对晶圆进行精准拿取的控制终端，基座中心设置有用于为拿取晶圆提供动力支持的电机，基座还设有用于对晶圆的进行精准拿取的辅助拿取机构。通过旋转臂、转动臂和拿取块的转动配合，能对处在不同角度的晶圆进行拿取，通过气缸带动伸缩杆和与伸缩杆连接的零部件进行升降，实现对处在不同高度的晶圆进行有效拿取，从而便捷的对晶圆进行拿取。

技术领域

本实用新型涉及晶圆拿取技术领域，具体涉及一种匀胶显影机的晶圆拿取装置。

背景技术

匀胶显影机是完成除曝光以外的所有光刻工艺的设备，包括光刻材料的涂布、烘烤、显影、晶圆背面的清洗以及用于浸没式工艺的晶圆表面的去离子水冲洗等；匀胶显影机一般由四部分组成，第一部分是晶圆盒工作站，晶圆盒在这里装载到机器上；机械手从晶圆盒中把晶圆抽出来，传送到工艺处理部分，即第二部分；工艺处理部分是匀胶显影机的主体，增粘模块、热盘、冷盘、旋涂、显影等主要工艺单元都安装在这里，一个或两个机械手在各单元之间传递晶圆，第三部分是为浸没式光刻工艺配套的单元，包括晶圆表面水冲洗单元、背清洗单元等；第四部分是和光刻机联机的接口界面，包括暂时储存晶圆的缓冲盒、晶圆边缘曝光和光刻机交换晶圆的接口等。

在对晶圆件进行拿取时，一般是通过机械手从晶圆盒中把晶圆件抽出来，再放置指定位置，但是目前机械手只能进行水平方向的抽取和传递晶圆，无法进行多角度拿取晶圆。

实用新型内容

本实用新型为了克服现有技术中机械手只能进行水平方向的抽取晶圆的缺点，本实用新型要解决的技术问题是提供一种能多角度拿取晶圆的匀胶显影机的晶圆拿取装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了这样一种匀胶显影机的晶圆拿取装置，包括有基座、控制终端、电机和辅助拿取机构，基座上设置有用于控制本装置对晶圆进行精准拿取的控制终端，基座中心设置有用于为拿取晶圆提供动力支持的电机，基座还设有用于对晶圆的进行精准拿取的辅助拿取机构。

优选地，所述辅助拿取机构包括有固定块、滚珠、旋转块、气缸、旋转臂、转动臂和拿取块，基座顶部以其中心点为圆心点安装有固定块，固定块顶部沿其周向均匀间隔地连接有若干滚珠，固定块通过滚珠转动式连接有旋转块，电机输出轴通过联轴器转动式地贯穿固定块，并与旋转块固定连接，旋转块的顶部连接有气缸，气缸伸缩杆的两侧对称地连接有旋转臂，旋转臂远离气缸伸缩杆的一端转动式地连接有转动臂，转动臂上与旋转臂和气缸伸缩杆连接端的另一端转动式连接有用于拿取晶圆的拿取块。

优选地，还包括有照明灯，基座上安装有用于为便捷操作控制终端提供而提供照明辅助的照明灯。

优选地，还包括有摄像头，气缸伸缩杆上连接有用于精准识别晶圆位置的摄像头。

优选地，还包括有信号灯，拿取块与拿取端相对的一侧连接有用于指示拿取块是否与晶圆在同一直线上的信号灯。

有选地，所述电机为伺服电机。

本实用新型具有的有益效果是：通过旋转臂、转动臂和拿取块的转动配合，能对处在不同角度的晶圆进行拿取，通过气缸带动伸缩杆和与伸缩杆连接的零部件进行升降，实现对处在不同高度的晶圆进行有效拿取，从而便捷的对晶圆进行拿取；通过电机与旋转块的配合，可实现周向转动，实现转动式拿取或搬运晶圆件的功能，由此实现可升降、多角度地拿取晶圆件。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图。

图2为本实用新型的基座、控制终端等部分零件立体结构示意图。

图3为本实用新型的电机、旋转块等部分零件立体结构示意图。