[实用新型]一种匀胶显影机的晶圆拿取装置

权利要求书

1.一种匀胶显影机的晶圆拿取装置，包括有基座(1)、控制终端(2)和电机(3)，基座(1)上设置有用于控制本装置对晶圆进行精准拿取的控制终端(2)，基座(1)中心设置有用于为拿取晶圆提供动力支持的电机(3)，其特征在于，还包括有辅助拿取机构(4)，基座(1)还设有用于对晶圆的进行精准拿取的辅助拿取机构(4)。

2.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的晶圆拿取装置，其特征在于，所述辅助拿取机构(4)包括有固定块(41)、滚珠(42)、旋转块(43)、气缸(44)、旋转臂(45)、转动臂(46)和拿取块(47)，基座(1)顶部以其中心点为圆心点安装有固定块(41)，固定块(41)顶部沿其周向均匀间隔地连接有若干滚珠(42)，固定块(41)通过滚珠(42)转动式连接有旋转块(43)，电机(3)输出轴通过联轴器转动式地贯穿固定块(41)，并与旋转块(43)固定连接，旋转块(43)的顶部连接有气缸(44)，气缸(44)伸缩杆的两侧对称地连接有旋转臂(45)，旋转臂(45)远离气缸(44)伸缩杆的一端转动式地连接有转动臂(46)，转动臂(46)上与旋转臂(45)和气缸(44)伸缩杆连接端的另一端转动式连接有用于拿取晶圆的拿取块(47)。

3.根据权利要求2所述的一种匀胶显影机的晶圆拿取装置，其特征在于，还包括有照明灯(5)，基座(1)上安装有用于为便捷操作控制终端(2)提供而提供照明辅助的照明灯(5)。

4.根据权利要求3所述的一种匀胶显影机的晶圆拿取装置，其特征在于，还包括有摄像头(6)，气缸(44)伸缩杆上连接有用于精准识别晶圆位置的摄像头(6)。

5.根据权利要求4所述的一种匀胶显影机的晶圆拿取装置，其特征在于，还包括有信号灯(7)，拿取块(47)与拿取端相对的一侧连接有用于指示拿取块(47)是否与晶圆在同一直线上的信号灯(7)。

6.根据权利要求5所述的一种匀胶显影机的晶圆拿取装置，其特征在于，所述电机(3)为伺服电机。