[实用新型]晶圆取放治具有效
| 申请号： | 202222749357.2 | 申请日： | 2022-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN218618729U | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 俞磊;吕泓霄;秦峰 | 申请（专利权）人： | 苏州广年科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G35/00 | 分类号： | B65G35/00;B65G47/24;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京鑫知翼知识产权代理事务所(普通合伙) 11984 | 代理人： | 张云珠 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型晶圆取放治具，包括治具主体，治具主体上均匀设置有若干与装载箱内的若干栈存台对应设置的转运台，治具主体包括对应装载箱的插入部，插入部端的转运台端部设置有晶圆提升斜坡；晶圆提升斜坡低于晶圆，治具主体载入，插入部形成缓慢将晶圆提升的提升部，配合转运台形成的导出部导出，形成高效晶圆转运结构。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆取放治具 | ||
【主权项】：
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B65 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65G 运输或贮存装置，例如装载或倾斜用输送机；车间输送机系统；气动管道输送机
B65G35-00 其他类不包含的机械输送机
B65G35-02 . 包含有配置成使圆柱形物件在支承表面上滚动的环形牵引元件，如牵引带
B65G35-04 . 包含有挠性载荷运载体，如输送带的，此挠性载荷运载体在一端卷紧而在另一端放松
B65G35-06 . 包含有沿一通路，如封闭通路移动的荷载运载体，并且此运载体适合于与沿通路间隔配置的一系列牵引元件中的任何一个啮合
B65G35-08 . 包含有可在通路，如封闭通路内移动的互不连接的载荷运载体系列，如许多皮带区段，这些载体适合于相互接触并由配置成使每个载荷运载体依次啮合的装置推进
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B65G35-08 . 包含有可在通路，如封闭通路内移动的互不连接的载荷运载体系列，如许多皮带区段，这些载体适合于相互接触并由配置成使每个载荷运载体依次啮合的装置推进
