[实用新型]晶圆取放治具

权利要求书

1.一种晶圆取放治具，其特征在于：包括治具主体，治具主体上均匀设置有若干与装载箱内的若干栈存台对应设置的转运台，治具主体包括对应装载箱的插入部，插入部端的转运台端部设置有晶圆提升斜坡；

晶圆提升斜坡低于晶圆，治具主体载入，插入部形成缓慢将晶圆提升的提升部，配合转运台形成的导出部导出，形成高效晶圆转运结构。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆取放治具，其特征在于：治具主体对应设置于平台部的转运导入区内，转运导入区内设置有由铁氟龙材质构成的载入导轨；治具主体包括与载入导轨配合使用的由铁芙蓉材质构成的导入对应块，由铁氟龙材质构成的载入导轨和导入对应块组合形成防止导入产生细屑产生静电，的无屑式防静电导入结构。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆取放治具，其特征在于：取放角度提供台角度为5-10°。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆取放治具，其特征在于：晶圆提升斜坡角度为2-5°。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆取放治具，其特征在于：转运台由铁氟龙材质构成。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆取放治具，其特征在于：转运台另一端也设置有晶圆提升斜坡，形成对应晶圆放入时的提升导向结构。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆取放治具，其特征在于：转运台下端设置有防止晶圆碰伤的斜向坡结构。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆取放治具，其特征在于：斜向坡结构角度为8-12°。