[实用新型]一种硅片脱胶转运装置有效
| 申请号： | 202222748850.2 | 申请日： | 2022-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN218618094U | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 顾韻;陆宇 | 申请（专利权）人： | 无锡市南亚科技有限公司 |
| 主分类号： | B65D61/00 | 分类号： | B65D61/00;B65D25/10;B65D6/24 |
| 代理公司： | 北京深川专利代理事务所(普通合伙) 16058 | 代理人： | 郑凯 |
| 地址： | 214000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片脱胶转运装置，包括：转运架，转运架的两端对称设有第一滑槽，且第一滑槽位于转运架的底部；下撑杆，下撑杆的两端滑动插在第一滑槽内，下撑杆活动位于硅片底部的两侧，用于托住硅片；下开合装置，下开合装置安装在转运架的两端，且与下撑杆连接，用于使下撑杆在第一滑槽内移动，使下撑杆与硅片分离；上撑杆，上撑杆对称位于转运架的内部，且位于硅片的两侧；及上开合装置，上开合装置与上撑杆连接，用于使上撑杆远离硅片的两侧。本实用新型提供的一种硅片脱胶转运装置通过展开上撑杆和下撑杆，使上撑杆和下撑杆与硅片分离，可直接取走转运装置、结构简单、不影响硅片的插片效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 脱胶 转运 装置 | ||
【主权项】：
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