[实用新型]一种硅片脱胶转运装置

权利要求书

1.一种硅片脱胶转运装置，其特征在于，包括：

转运架，所述转运架的两端对称设有第一滑槽(11)，且所述第一滑槽(11)位于所述转运架的底部；

下撑杆(31)，所述下撑杆(31)的两端滑动插在所述第一滑槽(11)内，所述下撑杆(31)活动位于硅片底部的两侧，用于托住硅片；

下开合装置，所述下开合装置安装在所述转运架的两端，且与所述下撑杆(31)连接，用于使所述下撑杆(31)在所述第一滑槽(11)内移动，使所述下撑杆(31)与所述硅片分离；

上撑杆(41)，所述上撑杆(41)对称位于所述转运架的内部，且位于所述硅片的两侧；及

上开合装置，所述上开合装置与所述上撑杆(41)连接，用于使所述上撑杆(41)远离所述硅片的两侧。

2.根据权利要求1所述的一种硅片脱胶转运装置，其特征在于，所述第一滑槽(11)向所述转运架的底部倾斜设置。

3.根据权利要求1所述的一种硅片脱胶转运装置，其特征在于，还包括：固定环(32)，所述固定环(32)安装在所述下撑杆(31)的两端，且位于所述第一滑槽(11)的一侧。

4.根据权利要求1所述的一种硅片脱胶转运装置，其特征在于，所述下开合装置包括：

下连杆(33)，所述下连杆(33)安装在所述下撑杆(31)的两端；及

下把手(34)，所述下把手(34)滑动安装在所述转运架的两端，且与所述下连杆(33)转动连接。

5.根据权利要求4所述的一种硅片脱胶转运装置，其特征在于，所述下把手(34)上设有下插槽(341)和下定位槽(342)，所述下定位槽(342)位于所述下把手(34)的中心处，且与所述下插槽(341)相通。

6.根据权利要求1至5任一项所述的一种硅片脱胶转运装置，其特征在于，所述上开合装置包括：

曲柄装置，所述曲柄装置转动安装在所述转运架的两端，且与所述上撑杆(41)连接；

上连杆(45)，所述上连杆(45)上设有第二滑槽(451)，所述上连杆(45)的一端与所述曲柄装置连接；

上把手(46)，所述上把手(46)滑动安装在所述转运架的两端；及

开合轴(47)，所述开合轴(47)对称固定在所述上把手(46)的两端，且活动插在所述第二滑槽(451)内。

7.根据权利要求6所述的一种硅片脱胶转运装置，其特征在于，所述曲柄装置包括：

曲柄连杆(42)，所述曲柄连杆(42)的一端固定在所述上撑杆(41)的两端；及

曲柄轴(43)，所述曲柄轴(43)分别与所述上连杆(45)和所述曲柄连杆(42)的另一端连接，且转动安装在所述转运架的两端。

8.根据权利要求6所述的一种硅片脱胶转运装置，其特征在于，还包括：球头柱塞(48)，所述球头柱塞(48)安装在所述转运架的两端，所述球头柱塞(48)与所述上把手(46)上的第一定位孔(463)和第二定位孔(464)相对设置，用于插在所述第一定位孔(463)和所述第二定位孔(464)内锁定所述上撑杆(41)的位置。

9.根据权利要求6所述的一种硅片脱胶转运装置，其特征在于，所述上把手(46)上设有上插槽(461)和上定位槽(462)，所述上定位槽(462)位于所述上插槽(461)的一侧，且位于所述上把手(46)的中心线上。

10.根据权利要求1至5任一项所述的一种硅片脱胶转运装置，其特征在于，所述转运架包括：

挡板(1)，所述挡板(1)对称设有两个，所述挡板(1)的底部设有皮带槽(12)和第一滑槽(11)，所述第一滑槽(11)对称位于所述皮带槽(12)的两侧；及

连接杆(2)，所述连接杆(2)的两端分别与两个所述挡板(1)连接。