[实用新型]一种用于晶圆存取的倒片机

摘要

本实用新型公开了一种用于晶圆存取的倒片机，包括用于安装的机架，所述机架上表面设置有若干个取片机构，相邻的另一个取片机构的侧面设置有第一读码检测机构，所述取片机构一侧设置治具，所述治具上设置有若干个与取片机构数量相同的卡塞，所述治具与取片机构之间也设置有第二读码检测机构。本实用新型的有益效果是：通过取片机构将放置在治具上的卡塞中的晶圆片进行取出和放入，在取片机构将晶圆从卡塞中取出和放入过程中可以通过第一读码检测机构和第二读码检测机构对晶圆片进行检测和扫码，对晶圆的扫码信息会传输至系统中，方便后续对该晶圆的存取和各个流程的跟踪。