[实用新型]一种用于晶圆存取的倒片机

权利要求书

1.一种用于晶圆存取的倒片机，其特征在于：包括用于安装的机架(51)，所述机架(51)上表面设置有若干个取片机构(52)，相邻的另一个取片机构(52)的侧面设置有第一读码检测机构(55)，所述取片机构(52)一侧设置治具(53)，所述治具(53)上设置有若干个与取片机构(52)数量相同的卡塞(54)，所述治具(53)与取片机构(52)之间也设置有第二读码检测机构(56)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆存取的倒片机，其特征在于：所述取片机构(52)包括安装在机架(51)上的第一直线模组(521)，所述第一直线模组(521)动力输出端设置第二直线模组(522)，所述第二直线模组(522)动力输出端安装有固定架(524)，所述固定架(524)上设置有吸盘(523)。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆存取的倒片机，其特征在于：所述第一读码检测机构(55)包括位于取片机构(52)一侧的第一安装板(551)，所述第一安装板(551)靠近取片机构(52)的侧面上安装有第一气缸(552)，所述第一气缸(552)的动力输出端的安装架上设置有第一读码检测相机(553)，所述第一读码检测相机(553)的拍摄方向设置有第一光源(554)，且第一光源(554)安装在第一安装板(551)上。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆存取的倒片机，其特征在于：所述第一气缸(552)动力输出端设置有第一限位块(556)，所述第一限位块(556)跟随第一读码检测相机(553)一起运动，所述第一安装板(551)的侧面还设置有第一限位器(555)，所述第一限位器(555)与第一限位块(556)位于同一直线上；当第一限位块(556)移动至第一限位器(555)位置后不再移动。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆存取的倒片机，其特征在于：所述第二读码检测机构(56)包括位于治具(53)与取片机构(52)之间的第二安装板(561)，所述第二安装板(561)侧面固定安装有第二气缸(562)，所述第二气缸(562)动力输出端的安装架上安装有第二读码检测相机(563)，所述第二安装板(561)侧面设置有第二光源(564)，所述第二光源(564)位于第二读码检测相机(563)的拍摄方向。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆存取的倒片机，其特征在于：所述第二气缸(562)动力输出端上还设置有第二限位块(566)，所述第二安装板(561)侧面还设置有第二限位器(565)，所述第二限位器(565)与第二限位块(566)位于同一直线上，当第二限位块(566)移动至第二限位器(565)位置后不再移动。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶圆存取的倒片机，其特征在于：所述治具(53)包括设置在机架(51)上的治具本体(531)，所述治具本体(531)上开设有多个用于卡塞(54)放置的放置槽(532)。

8.根据权利要求2所述的一种用于晶圆存取的倒片机，其特征在于：所述第一直线模组(521)和第二直线模组(522)的直线驱动方式采用同步带直线驱动模组、滚珠丝杆直线驱动模组中的一种或者多种组合。