[实用新型]一种光罩转运装置以及光刻机有效
| 申请号： | 202222716396.2 | 申请日： | 2022-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN218848569U | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 金阳 | 申请（专利权）人： | 无锡沧海云帆电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 | 代理人： | 戴圆圆 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种光罩转运装置以及光刻机，其中，所述光罩转运装置包括主体以及防护结构，所述主体用以活动设置于光刻机内，所述主体的底部设置有抓取结构，所述抓取结构用以抓取光罩；所述防护结构安装于所述主体，且所述防护结构包括一活动设置于所述主体下方的防护底托，所述防护底托在其活动行程上具有位于所述抓取结构下方的防护状态，以防护由所述抓取结构抓取的光罩，以及远离所述抓取结构的避让状态。本实用新型旨在解决现有光刻机中光罩转运时，光罩存在掉落损坏甚至损伤机台的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 转运 装置 以及 光刻 | ||
【主权项】：
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