[实用新型]一种光罩转运装置以及光刻机

权利要求书

1.一种光罩转运装置，其特征在于，包括：

主体，用以活动设置于光刻机内，所述主体的底部设置有抓取结构，所述抓取结构用以抓取光罩；以及，

防护结构，安装于所述主体，且所述防护结构包括一活动设置于所述主体下方的防护底托，所述防护底托在其活动行程上具有位于所述抓取结构下方的防护状态，以防护由所述抓取结构抓取的光罩，以及远离所述抓取结构的避让状态。

2.如权利要求1所述的光罩转运装置，其特征在于，所述防护结构包括转动安装于所述主体上的转动臂，所述转动臂的端部安装所述防护底托。

3.如权利要求1所述的光罩转运装置，其特征在于，所述防护底托上设置有吹气结构，所述吹气结构用以清洁光罩表面。

4.如权利要求1所述的光罩转运装置，其特征在于，所述防护底托朝向所述主体的端面设置有柔性防护垫。

5.如权利要求1所述的光罩转运装置，其特征在于，所述主体上设置有检测装置，所述检测装置对应于所述抓取结构设置，用以检测所述抓取结构上的光罩状态。

6.如权利要求1所述的光罩转运装置，其特征在于，所述抓取结构包括气吸结构。

7.如权利要求6所述的光罩转运装置，其特征在于，所述气吸结构包括间隔设置的两个气吸座，所述气吸座用以吸取光罩的两侧边沿以避让其中部的功能部位；

所述防护底托对应设置为两个活动底托，以使得所述防护状态的所述活动底托对应于光罩的两侧边沿位置设置。

8.如权利要求7所述的光罩转运装置，其特征在于，所述气吸座的端面设置有吸盘，所述吸盘的气路内设置有真空传感器。

9.如权利要求7所述的光罩转运装置，其特征在于，所述气吸座的端面设置有距离传感器，所述距离传感器用以检测光罩与所述气吸座之间的距离。

10.一种光刻机，其特征在于，包括如权利要求1-9任意一项所述的光罩转运装置。