[实用新型]一种便于定心的晶圆覆膜设备有效
| 申请号: | 202222645018.X | 申请日: | 2022-10-09 |
| 公开(公告)号: | CN218399444U | 公开(公告)日: | 2023-01-31 |
| 发明(设计)人: | 何在田;郑自菲;陈松涛 | 申请(专利权)人: | 郑州轨道交通信息技术研究院 |
| 主分类号: | B29C63/02 | 分类号: | B29C63/02;B29C63/00 |
| 代理公司: | 郑州浩德知识产权代理事务所(普通合伙) 41130 | 代理人: | 柏琼琼 |
| 地址: | 450001 河南省郑州市*** | 国省代码: | 河南;41 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本实用新型属于晶圆覆膜机设备的技术领域,具体为一种便于定心的晶圆覆膜设备,所述的覆膜机本体底部间隔固定连接有四组底座,所述的覆膜机上转动连接有端盖,所述的覆膜机上开设有覆膜槽,所述的覆膜槽内间隔开设有四组滑动槽,所述的覆膜机本体内侧壁间隔转动连接有四组定位丝杠,四组所述的滑动槽内均滑动连接有与定位丝杠螺纹连接的滑动块,所述的滑动块上固定连接有定位板,所述的定位板上放置有钢环,所述的覆膜槽内固定连接有与钢环同心设置的放置凸台,所述的放置凸台上开设有晶圆放置槽,所述的定位丝杠由动力装置驱动。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 便于 定心 晶圆覆膜 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于郑州轨道交通信息技术研究院,未经郑州轨道交通信息技术研究院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202222645018.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种强力枇杷露过滤浓缩配液设备
- 下一篇:一种新型测试载台





