[实用新型]一种便于定心的晶圆覆膜设备有效

专利信息
申请号: 202222645018.X 申请日: 2022-10-09
公开(公告)号: CN218399444U 公开(公告)日: 2023-01-31
发明(设计)人: 何在田;郑自菲;陈松涛 申请(专利权)人: 郑州轨道交通信息技术研究院
主分类号: B29C63/02 分类号: B29C63/02;B29C63/00
代理公司: 郑州浩德知识产权代理事务所(普通合伙) 41130 代理人: 柏琼琼
地址: 450001 河南省郑州市*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型属于晶圆覆膜机设备的技术领域,具体为一种便于定心的晶圆覆膜设备,所述的覆膜机本体底部间隔固定连接有四组底座,所述的覆膜机上转动连接有端盖,所述的覆膜机上开设有覆膜槽,所述的覆膜槽内间隔开设有四组滑动槽,所述的覆膜机本体内侧壁间隔转动连接有四组定位丝杠,四组所述的滑动槽内均滑动连接有与定位丝杠螺纹连接的滑动块,所述的滑动块上固定连接有定位板,所述的定位板上放置有钢环,所述的覆膜槽内固定连接有与钢环同心设置的放置凸台,所述的放置凸台上开设有晶圆放置槽,所述的定位丝杠由动力装置驱动。
搜索关键词: 一种 便于 定心 晶圆覆膜 设备
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