[实用新型]一种便于定心的晶圆覆膜设备

权利要求书

1.一种便于定心的晶圆覆膜设备，包括覆膜机本体（1）、钢环（2）、晶圆本体（3），其特征在于，所述的覆膜机本体（1）底部间隔固定连接有四组底座（4），所述的覆膜机上转动连接有端盖（5），所述的覆膜机上开设有覆膜槽（6），所述的覆膜槽（6）内间隔开设有四组滑动槽（7），所述的覆膜机本体（1）内侧壁间隔转动连接有四组定位丝杠（8），四组所述的滑动槽（7）内均滑动连接有与定位丝杠（8）螺纹连接的滑动块（9），所述的滑动块（9）上固定连接有定位板（10），所述的定位板（10）上放置有钢环（2），所述的覆膜槽（6）内固定连接有与钢环（2）同心设置的放置凸台（11），所述的放置凸台（11）上开设有晶圆放置槽（12），所述的定位丝杠（8）由动力装置驱动。

2.根据权利要求1所述的一种便于定心的晶圆覆膜设备，其特征在于，四组所述的定位丝杠（8）一端均固定连接有第一锥齿轮（13），所述的覆膜机本体（1）上转动连接有与第一锥齿轮（13）啮合的第二锥齿轮（14），所述的覆膜机本体（1）上固定连接有电动机（15），所述的第二锥齿轮（14）转动轴与电动机（15）转动轴间固定连接，所述的覆膜机本体（1）上设有与电动机（15）配合的按钮（16），所述的电动机（15）与控制器间电性连接。

3.根据权利要求2所述的一种便于定心的晶圆覆膜设备，其特征在于，四组所述的滑动槽（7）内与滑动块（9）间设有伸缩板（17）。

4.根据权利要求3所述的一种便于定心的晶圆覆膜设备，其特征在于，所述的覆膜机本体（1）底部可拆卸连接有与电动机（15）对应的维修板（18），所述的维修板（18）上设有与电动机对应的数组散热孔（19）。