[实用新型]一种便于定心的晶圆覆膜设备

说明书

本实用新型属于晶圆覆膜机设备的技术领域，具体为一种便于定心的晶圆覆膜设备，所述的覆膜机本体底部间隔固定连接有四组底座，所述的覆膜机上转动连接有端盖，所述的覆膜机上开设有覆膜槽，所述的覆膜槽内间隔开设有四组滑动槽，所述的覆膜机本体内侧壁间隔转动连接有四组定位丝杠，四组所述的滑动槽内均滑动连接有与定位丝杠螺纹连接的滑动块，所述的滑动块上固定连接有定位板，所述的定位板上放置有钢环，所述的覆膜槽内固定连接有与钢环同心设置的放置凸台，所述的放置凸台上开设有晶圆放置槽，所述的定位丝杠由动力装置驱动。

技术领域

本实用新型属于晶圆覆膜机设备的技术领域，具体为一种便于定心的晶圆覆膜设备。

背景技术

晶圆是半导体生产中重要的原材料，晶圆生产为半导体前一般需要将没有电路结构的一面进行打磨切割，使其变薄，因此晶圆具有电路结构的一面需要覆盖一层保护膜，以防止晶圆的电路结构被刮擦损坏；

现有晶圆覆膜机，将晶圆放置到覆膜机内，钢环也放到覆膜机内，为了保证晶圆与钢环保持同心，晶圆和钢环都是放置到预设的放置槽内，由于钢环的有不同直径的规格，需要不同直径规格的晶圆覆膜机，导致定心工作繁琐。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供了一种便于定心的晶圆覆膜设备，解决了由于钢环的有不同直径的规格，需要不同直径规格的晶圆覆膜机，导致定心工作繁琐，不能自动定心的技术问题。

本实用新型采取的方案为：一种便于定心的晶圆覆膜设备，包括覆膜机本体、钢环、晶圆本体，其特征在于，所述的覆膜机本体底部间隔固定连接有四组底座，所述的覆膜机上转动连接有端盖，所述的覆膜机上开设有覆膜槽，所述的覆膜槽内间隔开设有四组滑动槽，所述的覆膜机本体内侧壁间隔转动连接有四组定位丝杠，四组所述的滑动槽内均滑动连接有与定位丝杠螺纹连接的滑动块，所述的滑动块上固定连接有定位板，所述的定位板上放置有钢环，所述的覆膜槽内固定连接有与钢环同心设置的放置凸台，所述的放置凸台上开设有晶圆放置槽，所述的定位丝杠由动力装置驱动。

优选的，四组所述的定位丝杠一端均固定连接有第一锥齿轮，所述的覆膜机本体上转动连接有与第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮，所述的覆膜机本体上固定连接有电动机，所述的第二锥齿轮转动轴与电动机转动轴间固定连接，所述的覆膜机本体上设有与电动机配合的按钮，所述的电动机与控制器间电性连接。

优选的，四组所述的滑动槽内与滑动块间设有伸缩板。

优选的，所述的覆膜机本体底部可拆卸连接有与电动机对应的维修板，所述的维修板18上设有与电动机对应的数组散热孔19。

本实用新型的有益效果：

一、启动电动机，使得第二锥齿轮动作，由于第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合，所以带动四组第一锥齿轮动作，定位丝杠随之动作，与定位丝杠螺纹连接的滑动快动作，调节到定位板与钢环接触夹紧为止，使用不用规格直径的钢环使用一台覆膜机就可以完成覆膜工作，实现自动定心功能，操作简单，提高了覆膜的工作效率；

二、覆膜机本体底部可拆卸连接有与电动机对应的维修板，进行对电机的维修，便于维修更换，通过散热孔进行对电动机散热，避免电动机因热量过大而发生损坏。

附图说明

图1是本实用新型的立体图视角之一。

图2是本实用新型的立体图视角之二。

图3是本实用新型的立体剖视图视角之一。

图4是本实用新型的立体剖视图视角之二。

图5是本实用新型的立体剖视图视角之三。