[实用新型]一种精准对位的双面光刻系统有效
| 申请号： | 202222619079.9 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN218099934U | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 王华;陈志特;朱敏;甘泉;黄海浩 | 申请（专利权）人： | 广东科视光学技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604 | 代理人： | 胡国英 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种精准对位的双面光刻系统，包括CCD组件，CCD组件包括：对位相机，并沿着龙门式平台对称设置两个且进行移动，用于对PCB组件定位，本实用新型的双面光刻系统，通过设有两组CCD对准机构，CCD对准机构在X轴和Y轴上可移动以实现定位，使得光刻PCB板两面一致，保证其光刻质量，并可以对PCB板进行双面光刻工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精准 对位 双面 光刻 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东科视光学技术股份有限公司，未经广东科视光学技术股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202222619079.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
