[实用新型]一种精准对位的双面光刻系统有效
申请号: | 202222619079.9 | 申请日: | 2022-09-30 |
公开(公告)号: | CN218099934U | 公开(公告)日: | 2022-12-20 |
发明(设计)人: | 王华;陈志特;朱敏;甘泉;黄海浩 | 申请(专利权)人: | 广东科视光学技术股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604 | 代理人: | 胡国英 |
地址: | 523000 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 精准 对位 双面 光刻 系统 | ||
本实用新型公开了一种精准对位的双面光刻系统,包括CCD组件,CCD组件包括:对位相机,并沿着龙门式平台对称设置两个且进行移动,用于对PCB组件定位,本实用新型的双面光刻系统,通过设有两组CCD对准机构,CCD对准机构在X轴和Y轴上可移动以实现定位,使得光刻PCB板两面一致,保证其光刻质量,并可以对PCB板进行双面光刻工作。
技术领域
本实用新型涉及双面光刻技术领域,具体涉及一种精准对位的双面光刻系统。
背景技术
中国专利CN114047675A公开了一种升降式光刻机及其加工方法,涉及光学加工技术领域,包括基座、双龙门、光学机构、对位机构和工作台机构;光学机构包括光刻镜头,光刻镜头和镜头移动板;对位机构包括对位相机;工作台机构包括上工作台和下工作台,上工作台上设有上斜块升降机构,上工作台通过上斜块升降机构对台面进行垂直升降;下工作台上设有下斜块升降机构,下工作台通过下斜块升降机构对台面进行垂直升降;
但是上述的现有技术中,CCD组件设置成单组,位于工作台面的上方,使得不能完成对PCB板进行双面定位、双面光刻的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于解决不能有效解决针对不同尺寸厚度的PCB板进行双面定位、双面光刻的问题,而提出一种精准对位的双面光刻系统。
本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现:
一种精准对位的双面光刻系统,包括CCD组件,CCD组件包括:
对位相机,并沿着龙门式平台对称设置两个且进行移动,用于对PCB组件定位。
作为本实用新型进一步的方案:对位相机沿着X轴和Y轴方向移动。
作为本实用新型进一步的方案:龙门式平台:为PCB组件的载体,并沿着底座往返移动,包括具有高度差的龙门式上平台和龙门式下平台,或同一高度的龙门式左平台和龙门式右平台。
作为本实用新型进一步的方案:龙门式上平台和龙门式下平台为U型支撑结构。
作为本实用新型进一步的方案:龙门式左平台和龙门式右平台为U型支撑结构。
作为本实用新型进一步的方案:光刻组件包括光刻镜头,并沿着龙门式平台对称设置两个且进行移动,用于对PCB组件光刻。
作为本实用新型进一步的方案:龙门式上平台顶面的水平高度高于龙门式下平台顶面的水平高度。
作为本实用新型进一步的方案:龙门式上平台的宽度大于龙门式下平台的宽度。
作为本实用新型进一步的方案:龙门式平台与底座之间通过滑轨方式进行连接。
本实用新型的有益效果:
本实用新型的双面光刻系统,通过设有两组CCD对准机构,CCD对准机构在X轴和Y轴上可移动以实现定位,使得光刻PCB板两面一致,保证其光刻质量,并可以对PCB板进行双面光刻工作。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
图1是本实用新型上下龙门式平台光刻系统的结构示意图;
图2是本实用新型上下龙门式平台光刻系统的俯视图;
图3是本实用新型图2中C-C的剖视图;
图4是本实用新型左右龙门式平台光刻系统的结构示意图;
图5是本实用新型左右龙门式平台光刻系统的结构示意图;
图6是本实用新型图5中D-D的剖视图;
图7是本实用新型压紧机构的结构示意图;
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