[实用新型]一种精准对位的双面光刻系统有效

专利信息
申请号: 202222619079.9 申请日: 2022-09-30
公开(公告)号: CN218099934U 公开(公告)日: 2022-12-20
发明(设计)人: 王华;陈志特;朱敏;甘泉;黄海浩 申请(专利权)人: 广东科视光学技术股份有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604 代理人: 胡国英
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 精准 对位 双面 光刻 系统
【说明书】:

本实用新型公开了一种精准对位的双面光刻系统,包括CCD组件,CCD组件包括:对位相机,并沿着龙门式平台对称设置两个且进行移动,用于对PCB组件定位,本实用新型的双面光刻系统,通过设有两组CCD对准机构,CCD对准机构在X轴和Y轴上可移动以实现定位,使得光刻PCB板两面一致,保证其光刻质量,并可以对PCB板进行双面光刻工作。

技术领域

本实用新型涉及双面光刻技术领域,具体涉及一种精准对位的双面光刻系统。

背景技术

中国专利CN114047675A公开了一种升降式光刻机及其加工方法,涉及光学加工技术领域,包括基座、双龙门、光学机构、对位机构和工作台机构;光学机构包括光刻镜头,光刻镜头和镜头移动板;对位机构包括对位相机;工作台机构包括上工作台和下工作台,上工作台上设有上斜块升降机构,上工作台通过上斜块升降机构对台面进行垂直升降;下工作台上设有下斜块升降机构,下工作台通过下斜块升降机构对台面进行垂直升降;

但是上述的现有技术中,CCD组件设置成单组,位于工作台面的上方,使得不能完成对PCB板进行双面定位、双面光刻的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于解决不能有效解决针对不同尺寸厚度的PCB板进行双面定位、双面光刻的问题,而提出一种精准对位的双面光刻系统。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现:

一种精准对位的双面光刻系统,包括CCD组件,CCD组件包括:

对位相机,并沿着龙门式平台对称设置两个且进行移动,用于对PCB组件定位。

作为本实用新型进一步的方案:对位相机沿着X轴和Y轴方向移动。

作为本实用新型进一步的方案:龙门式平台:为PCB组件的载体,并沿着底座往返移动,包括具有高度差的龙门式上平台和龙门式下平台,或同一高度的龙门式左平台和龙门式右平台。

作为本实用新型进一步的方案:龙门式上平台和龙门式下平台为U型支撑结构。

作为本实用新型进一步的方案:龙门式左平台和龙门式右平台为U型支撑结构。

作为本实用新型进一步的方案:光刻组件包括光刻镜头,并沿着龙门式平台对称设置两个且进行移动,用于对PCB组件光刻。

作为本实用新型进一步的方案:龙门式上平台顶面的水平高度高于龙门式下平台顶面的水平高度。

作为本实用新型进一步的方案:龙门式上平台的宽度大于龙门式下平台的宽度。

作为本实用新型进一步的方案:龙门式平台与底座之间通过滑轨方式进行连接。

本实用新型的有益效果:

本实用新型的双面光刻系统,通过设有两组CCD对准机构,CCD对准机构在X轴和Y轴上可移动以实现定位,使得光刻PCB板两面一致,保证其光刻质量,并可以对PCB板进行双面光刻工作。

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型上下龙门式平台光刻系统的结构示意图;

图2是本实用新型上下龙门式平台光刻系统的俯视图;

图3是本实用新型图2中C-C的剖视图;

图4是本实用新型左右龙门式平台光刻系统的结构示意图;

图5是本实用新型左右龙门式平台光刻系统的结构示意图;

图6是本实用新型图5中D-D的剖视图;

图7是本实用新型压紧机构的结构示意图;

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东科视光学技术股份有限公司,未经广东科视光学技术股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202222619079.9/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top