[实用新型]透镜面形检测装置有效
申请号: | 202222613578.7 | 申请日: | 2022-09-30 |
公开(公告)号: | CN218349421U | 公开(公告)日: | 2023-01-20 |
发明(设计)人: | 国成立;张健;李元正;戴付建;赵烈烽 | 申请(专利权)人: | 浙江舜宇光学有限公司 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 唐振北 |
地址: | 315499 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种透镜面形检测装置,透镜面形检测装置用于对具有非球面的被检测结构进行面型检测,透镜面形检测装置包括:干涉仪;标准镜,干涉仪设置在标准镜的出光侧;计算全息结构,计算全息结构设置在标准镜的出光侧,且计算全息结构位于标准镜的焦点处,计算全息结构具有对准区域,对准区域能够对光线进行透射;调整结构,被检测结构设置在调整结构上,调整结构具有通孔,至少部分光线经过标准镜后穿过对准区域、通孔后射出,以实现计算全息结构与被检测结构之间的对准。本实用新型解决了现有技术中非球面、自由曲面存在检测误差大的问题。 | ||
搜索关键词: | 透镜 检测 装置 | ||
【主权项】:
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