[实用新型]透镜面形检测装置

权利要求书

1.一种透镜面形检测装置，其特征在于，用于对具有非球面的被检测结构(50)进行面型检测，所述透镜面形检测装置包括：

干涉仪(10)；

标准镜(20)，所述干涉仪(10)设置在所述标准镜(20)的出光侧；

计算全息结构(30)，所述计算全息结构(30)设置在所述标准镜(20)的出光侧，且所述计算全息结构(30)位于所述标准镜(20)的焦点处，所述计算全息结构(30)具有对准区域(31)，所述对准区域(31)能够对光线进行透射；

调整结构(40)，所述被检测结构(50)设置在所述调整结构(40)上，所述调整结构(40)具有通孔(41)，至少部分光线经过所述标准镜(20)后穿过所述对准区域(31)、所述通孔(41)后射出，以实现所述计算全息结构(30)与所述被检测结构(50)之间的对准。

2.根据权利要求1所述的透镜面形检测装置，其特征在于，所述计算全息结构(30)包括：

调整架(32)；

计算全息图(33)，所述计算全息图(33)设置在所述调整架(32)上，通过调整所述调整架(32)的位置调整所述计算全息图(33)的位置，所述计算全息图(33)具有同轴设置的第一区域(34)和第二区域(35)，所述第一区域(34)位于所述第二区域(35)的内侧，所述对准区域(31)设置在所述第二区域(35)内，且所述第二区域(35)除所述对准区域(31)以外的区域能够对光线进行反射以用于将所述计算全息结构(30)与所述干涉仪(10)对准，所述第一区域(34)能够对光线进行透射以检测所述被检测结构(50)的面形。

3.根据权利要求2所述的透镜面形检测装置，其特征在于，所述对准区域(31)为多个，多个所述对准区域(31)绕所述第一区域(34)的外周等间隔设置。

4.根据权利要求3所述的透镜面形检测装置，其特征在于，所述调整结构(40)包括：

调整件(42)；

调整工装(43)，所述调整工装(43)设置在所述调整件(42)上，所述调整工装(43)具有安装区域(44)，所述被检测结构(50)设置在所述安装区域(44)内，所述安装区域(44)与所述第一区域(34)对应，所述通孔(41)为多个，多个所述通孔(41)绕所述安装区域(44)的周向间隔设置，多个所述通孔(41)与多个所述对准区域(31)一一对应设置。

5.根据权利要求4所述的透镜面形检测装置，其特征在于，所述调整工装(43)具有容纳凹槽，所述容纳凹槽内的区域为所述安装区域(44)，所述被检测结构(50)的至少一部分位于所述容纳凹槽内。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的透镜面形检测装置，其特征在于，所述被检测结构(50)的非球面朝向所述计算全息结构(30)。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的透镜面形检测装置，其特征在于，所述通孔(41)的形状与所述对准区域(31)的形状相同。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的透镜面形检测装置，其特征在于，所述通孔(41)为长条形孔或者十字形孔。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的透镜面形检测装置，其特征在于，所述透镜面形检测装置还包括接收板(60)，所述接收板(60)设置在所述调整结构(40)远离所述计算全息结构(30)的一侧，所述接收板(60)用于接收所述通孔(41)透过的光。

10.根据权利要求1至5中任一项所述的透镜面形检测装置，其特征在于，所述干涉仪(10)与所述标准镜(20)连接。