[实用新型]透镜面形检测装置有效
申请号: | 202222613578.7 | 申请日: | 2022-09-30 |
公开(公告)号: | CN218349421U | 公开(公告)日: | 2023-01-20 |
发明(设计)人: | 国成立;张健;李元正;戴付建;赵烈烽 | 申请(专利权)人: | 浙江舜宇光学有限公司 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 唐振北 |
地址: | 315499 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 透镜 检测 装置 | ||
本实用新型提供了一种透镜面形检测装置,透镜面形检测装置用于对具有非球面的被检测结构进行面型检测,透镜面形检测装置包括:干涉仪;标准镜,干涉仪设置在标准镜的出光侧;计算全息结构,计算全息结构设置在标准镜的出光侧,且计算全息结构位于标准镜的焦点处,计算全息结构具有对准区域,对准区域能够对光线进行透射;调整结构,被检测结构设置在调整结构上,调整结构具有通孔,至少部分光线经过标准镜后穿过对准区域、通孔后射出,以实现计算全息结构与被检测结构之间的对准。本实用新型解决了现有技术中非球面、自由曲面存在检测误差大的问题。
技术领域
本实用新型涉及透镜检测设备技术领域,具体而言,涉及一种透镜面形检测装置。
背景技术
在光学成像领域中,离轴非球面、自由曲面因其优异的像差校正能力,在提升光学系统性能、降低光学系统重量、减小光学系统体积方面具有重要应用,被广泛应用于航空航天光学望远镜、近眼显示光学系统、极紫外光刻物镜等领域。具有离轴非球面、自由曲面的透镜的面形各处差异较大,不利于检测。而现有中大多采用三坐标、Luphscan(三维激光扫描点云处理软件)、UA3P(三维光学轮廓测量仪)等方式进行检测,计算全息图检测方法具有补偿范围大、检测精度高、检测速度快等优点被广泛应用,但是在采用计算全息图检测方法的过程中被检测面形的面形误差受镜片调整姿态的影响而不同,因此并不能确定被检测面形的面形误差值的大小,导致整个面形的检测结果并不准确,也就是说对非球面、自由曲面的检测误差较大。
也就是说,现有技术中非球面、自由曲面存在检测误差大的问题。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种透镜面形检测装置,以解决现有技术中非球面、自由曲面存在检测误差大的问题。
为了实现上述目的,根据本实用新型的一个方面,提供了一种透镜面形检测装置,用于对具有非球面的被检测结构进行面型检测,透镜面形检测装置包括:干涉仪;标准镜,干涉仪设置在标准镜的出光侧;计算全息结构,计算全息结构设置在标准镜的出光侧,且计算全息结构位于标准镜的焦点处,计算全息结构具有对准区域,对准区域能够对光线进行透射;调整结构,被检测结构设置在调整结构上,调整结构具有通孔,至少部分光线经过标准镜后穿过对准区域、通孔后射出,以实现计算全息结构与被检测结构之间的对准。
进一步地,计算全息结构包括:调整架;计算全息图,计算全息图设置在调整架上,通过调整调整架的位置调整计算全息图的位置,计算全息图具有同轴设置的第一区域和第二区域,第一区域位于第二区域的内侧,对准区域设置在第二区域内,且第二区域除对准区域以外的区域能够对光线进行反射以用于将计算全息结构与干涉仪对准,第一区域能够对光线进行透射以检测被检测结构的面形。
进一步地,对准区域为多个,多个对准区域绕第一区域的外周等间隔设置。
进一步地,调整结构包括:调整件;调整工装,调整工装设置在调整件上,调整工装具有安装区域,被检测结构设置在安装区域内,安装区域与第一区域对应,通孔为多个,多个通孔绕安装区域的周向间隔设置,多个通孔与多个对准区域一一对应设置。
进一步地,调整工装具有容纳凹槽,容纳凹槽内的区域为安装区域,被检测结构的至少一部分位于容纳凹槽内。
进一步地,被检测结构的非球面朝向计算全息结构。
进一步地,通孔的形状与对准区域的形状相同。
进一步地,通孔为长条形孔或者十字形孔。
进一步地,透镜面形检测装置还包括接收板,接收板设置在调整结构远离计算全息结构的一侧,接收板用于接收通孔透过的光。
进一步地,干涉仪与标准镜连接。
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