[实用新型]一种用于单晶炉真空系统的防爆口隔离机构及真空管道有效
| 申请号： | 202222553971.1 | 申请日： | 2022-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN218372631U | 公开（公告）日： | 2023-01-24 |
| 发明（设计）人： | 韩存根;张树峰 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环晶体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于单晶炉真空系统的防爆口隔离机构及真空管道，包括转动安装座和盲板，转动安装座设于防爆口的上侧；盲板通过转动安装座与防爆口转动连接，盲板上设有用于密封防爆口的密封圈。本实用新型的密封圈安装在盲板上，且转动安装座设于防爆口的上侧，打开盲板后，盲板和密封圈处于防爆口的上方，对真空管道进行清理时，能够避免硅料及异物附着密封圈导致密封不严泄漏风险，同时降低密封圈磕碰损坏的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 单晶炉 真空 系统 防爆 隔离 机构 管道 | ||
【主权项】：
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