[实用新型]一种用于单晶炉真空系统的防爆口隔离机构及真空管道

说明书

本实用新型公开了一种用于单晶炉真空系统的防爆口隔离机构及真空管道，包括转动安装座和盲板，转动安装座设于防爆口的上侧；盲板通过转动安装座与防爆口转动连接，盲板上设有用于密封防爆口的密封圈。本实用新型的密封圈安装在盲板上，且转动安装座设于防爆口的上侧，打开盲板后，盲板和密封圈处于防爆口的上方，对真空管道进行清理时，能够避免硅料及异物附着密封圈导致密封不严泄漏风险，同时降低密封圈磕碰损坏的概率。

技术领域

本实用新型涉及真空管道技术领域，特别涉及一种防爆口隔离机构及真空管道。

背景技术

真空管道是单晶炉真空系统重要的组成部分，是真空泵与主炉室之间重要的连接部件，单晶炉运行时真空泵通过真空管道对主炉室进行抽空。使用时，真空管道一端连接至真空泵，另一端通过主炉室连接管连接主炉室，真空管道的横管两端均设有防爆口，防爆口外安装防爆阀盲板，工作状态下盲板为低压吸合关闭状态，盲板端面与防爆口处的密封圈配合密封。真空管道防爆口为斜面，防爆口上安装有密封圈，因密封圈安装在防爆口上，清理管道时硅料粉尘等异物容易附着在密封圈上，导致密封泄漏，抽空不达标，浪费工时；且密封圈易被磕碰损坏；同时盲板与安装座通过铰链连接，无旋转限位，盲板打开后旋转角度大，存在砸坏后方主炉室连接管导致抽空管道泄漏等异常风险。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种用于单晶炉真空系统的防爆口隔离机构及真空管道，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本申请提供如下技术方案：

本实用新型的一种用于单晶炉真空系统的防爆口隔离机构，包括：

转动安装座，所述转动安装座设于所述防爆口的上侧；

盲板，所述盲板通过所述转动安装座与所述防爆口转动连接，所述盲板上设有用于密封所述防爆口的密封圈。

进一步地，所述转动安装座远离所述防爆口的一侧设有限位凸台，所述限位凸台适于限制所述盲板转动一定角度，所述盲板打开状态下，所述盲板与主炉室连接管具有一定间距。

进一步地，所述限位凸台沿所述防爆口的径向设置。

进一步地，所述转动安装座上设有与所述盲板转动连接的凸耳。

进一步地，所述盲板和所述凸耳通过螺栓转动连接，所述螺栓采用标准件螺栓。

本实用新型的一种用于单晶炉真空系统的真空管道，包括横管，所述横管的两端均设有防爆口，所述防爆口处设有如前所述的防爆口隔离机构。

综上，本实用新型的技术效果和优点：

1、密封圈安装在盲板上，且转动安装座设于防爆口的上侧，打开盲板后，盲板和密封圈处于防爆口的上方，对真空管道进行清理时，能够避免硅料及异物附着密封圈导致密封不严泄漏风险，同时降低密封圈磕碰损坏的概率；

2、转动安装座上设有限位凸台，在限位凸台作用下，能够对盲板的旋转角度进行限位，防止旋转角度大砸坏后方主炉室连接管；

3、盲板与凸耳采用标准件螺栓转动连接，使螺栓更换方便且成本更低，便于对螺栓维护，从而降低运行中因螺栓断裂，盲板错位漏气硅液氧化风险。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一实施例中真空管道的结构示意图一；

图2为本实用新型一实施例中真空管道的结构示意图二；

图3为本实用新型一实施例中转动安装座与盲板的连接示意图；