[实用新型]一种用于单晶炉真空系统的防爆口隔离机构及真空管道有效
| 申请号: | 202222553971.1 | 申请日: | 2022-09-27 |
| 公开(公告)号: | CN218372631U | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
| 发明(设计)人: | 韩存根;张树峰 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环晶体材料有限公司 |
| 主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
| 代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
| 地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 单晶炉 真空 系统 防爆 隔离 机构 管道 | ||
1.一种用于单晶炉真空系统的防爆口隔离机构,其特征在于,包括:
转动安装座,所述转动安装座设于所述防爆口的上侧;
盲板,所述盲板通过所述转动安装座与所述防爆口转动连接,所述盲板上设有用于密封所述防爆口的密封圈。
2.根据权利要求1所述的用于单晶炉真空系统的防爆口隔离机构,其特征在于,所述转动安装座远离所述防爆口的一侧设有限位凸台,所述限位凸台适于限制所述盲板转动一定角度,所述盲板打开状态下,所述盲板与主炉室连接管具有一定间距。
3.根据权利要求2所述的用于单晶炉真空系统的防爆口隔离机构,其特征在于,所述限位凸台沿所述防爆口的径向设置。
4.根据权利要求1所述的用于单晶炉真空系统的防爆口隔离机构,其特征在于,所述转动安装座上设有与所述盲板转动连接的凸耳。
5.根据权利要求4所述的用于单晶炉真空系统的防爆口隔离机构,其特征在于,所述盲板和所述凸耳通过螺栓转动连接,所述螺栓采用标准件螺栓。
6.一种用于单晶炉真空系统的真空管道,包括横管,所述横管的两端均设有防爆口,其特征在于:所述防爆口处设有如权利要求1-5任一项所述的防爆口隔离机构。
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