[实用新型]一种电镀洗边装置

摘要

本实用新型提供一种电镀洗边装置，包括洗边腔室、承载单元、喷嘴单元及喷嘴转动单元，喷嘴单元包括喷嘴、喷嘴固定杆及供液管，喷嘴转动单元带动喷嘴固定杆往复转动，以使喷嘴在第一偏向角与第二偏向角之间转换。位于第一偏向角时，晶圆逆时针旋转，位于第二偏向角时，晶圆顺时针旋转，能完全除去晶圆边缘缺口处镀层金属，提高晶圆良率，方便对现有设备直接改造，节约设备成本。另卡盘与卡盘固定旋转台中心距离可调，适用于不同尺寸的晶圆，提高装置利用率；能设置多个喷嘴进行洗边，提高洗边效率，还能提高喷嘴使用寿命；供液管管路设置开关，既能调节流速，还能控制洗边管路的打开与关闭，节约洗边成本。