[实用新型]一种电镀洗边装置

权利要求书

1.一种电镀洗边装置，其特征在于，所述电镀洗边装置至少包括：

洗边腔室；

承载单元，所述承载单元位于所述洗边腔室内，水平承载晶圆，且带动所述晶圆绕垂直于水平面的所述承载单元中心轴旋转；

喷嘴单元，所述喷嘴单元位于所述洗边腔室内，包括喷嘴、喷嘴固定杆及供液管，所述喷嘴通过所述喷嘴固定杆固定于所述晶圆边缘上方设定偏向角处，所述供液管与所述喷嘴连通以向所述喷嘴提供洗边液；

喷嘴转动单元，所述喷嘴转动单元与所述喷嘴固定杆连接，且通过所述喷嘴转动单元带动所述喷嘴固定杆进行往复转动以转换所述喷嘴的偏向角。

2.根据权利要求1所述的电镀洗边装置，其特征在于：所述承载单元包括卡盘、卡盘固定旋转台，所述卡盘固定于所述卡盘固定旋转台的末端，多个所述卡盘绕所述晶圆圆周均匀分布以固定所述晶圆。

3.根据权利要求2所述的电镀洗边装置，其特征在于：所述承载单元还包括晶圆承载板，所述晶圆承载板位于所述卡盘上以承载所述晶圆。

4.根据权利要求2所述的电镀洗边装置，其特征在于：所述卡盘为调节式卡盘，以调节所述卡盘与所述卡盘固定旋转台中心之间距离固定不同大小的所述晶圆。

5.根据权利要求1所述的电镀洗边装置，其特征在于：所述喷嘴转动单元包括转动电机，所述转动电机能够以设定的时间间隔进行转动。

6.根据权利要求1所述的电镀洗边装置，其特征在于：所述承载单元带动所述晶圆逆时针旋转时，所述喷嘴转动单元带动所述喷嘴转动至第一偏向角处，所述承载单元带动所述晶圆顺时针旋转时，所述喷嘴转动单元带动所述喷嘴转动至第二偏向角处，其中，所述第二偏向角与所述第一偏向角关于所述喷嘴固定杆与所述晶圆中心连线对称。

7.根据权利要求6所述的电镀洗边装置，其特征在于：所述第一偏向角与所述第二偏向角的夹角取值范围为0°～10°。

8.根据权利要求1所述的电镀洗边装置，其特征在于：所述喷嘴单元、所述喷嘴转动单元一一对应设置，数量为N，其中N≥1，且当N＞1时，所述喷嘴单元沿所述晶圆的圆周均匀分布。

9.根据权利要求1所述的电镀洗边装置，其特征在于：所述供液管的管路上设置有开关。

10.根据权利要求1所述的电镀洗边装置，其特征在于：所述电镀洗边装置还设置有喷水管。