[实用新型]一种磁控溅射靶位冷却装置有效
| 申请号： | 202222479253.4 | 申请日： | 2022-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN218155010U | 公开（公告）日： | 2022-12-27 |
| 发明（设计）人： | 李金成;张志聪;黄东阳;陈健;杨占锋 | 申请（专利权）人： | 合肥亿米特科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F25D17/02 | 分类号： | F25D17/02;F25D23/00;F25D29/00;C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 珠海飞拓知识产权代理事务所(普通合伙) 44650 | 代理人： | 陈李青 |
| 地址： | 230093 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种磁控溅射靶位冷却装置，包括冷却水盒，冷却水盒内部开设有水位腔，水位腔内壁开设有回水腔；水位腔端口密封安装有密封盖板，回水腔端口密封安装有密封隔板，且密封隔板将水位腔和回水腔分隔成两个独立的腔体；冷却水盒底部一侧连接有进水管，且进水管与水位腔相通；冷却水盒的底部位于进水管的一侧连接有排水管，且排水管与回水腔相通；密封隔板的上端部等距贯穿开通有回水孔。确保了水位腔内部的冷却液后始终处于满载状态，提高了对靶材的冷却效果，利用水位传感器与电源形成互锁，在水位传感器未监测到水位符合要求前，电源无法开启，靶位无法工作，保证了安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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