[实用新型]一种磁控溅射靶位冷却装置

权利要求书

1.一种磁控溅射靶位冷却装置，包括冷却水盒（1），其特征在于：

所述冷却水盒（1）内部开设有水位腔（101），所述水位腔（101）内壁开设有回水腔（102）；

所述水位腔（101）端口密封安装有密封盖板（7），所述回水腔（102）端口密封安装有密封隔板（2），且密封隔板（2）将水位腔（101）和回水腔（102）分隔成两个独立的腔体；

所述冷却水盒（1）底部一侧连接有进水管（3），且进水管（3）与水位腔（101）相通；

所述冷却水盒（1）的底部位于进水管（3）的一侧连接有排水管（4），且排水管（4）与回水腔（102）相通；

所述密封隔板（2）的上端部等距贯穿开通有回水孔（103）。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射靶位冷却装置，其特征在于：

所述冷却水盒（1）的顶部安装有水位传感器（6），且水位传感器（6）贯穿延伸至水位腔（101）的内顶部处。

3.根据权利要求2所述的一种磁控溅射靶位冷却装置，其特征在于：

所述回水孔（103）的数量为三个，且回水孔（103）的高度与水位传感器（6）位于水位腔（101）内的端部保持一致。

4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射靶位冷却装置，其特征在于：

所述冷却水盒（1）的一侧设置有冷却水箱（5），所述冷却水箱（5）的进水端与排水管（4）相通连接；

所述冷却水箱（5）的出水端相通连接有引水管（501），所述引水管（501）的端部连接有小型水泵（502），且小型水泵（502）的出水端与进水管（3）的端部相通连接。

5.根据权利要求4所述的一种磁控溅射靶位冷却装置，其特征在于：

所述冷却水箱（5）的表面均匀安装有散热铝片（503），且散热铝片（503）端部均贯穿延伸至冷却水箱（5）内部与冷却液接触。

6.根据权利要求1所述的一种磁控溅射靶位冷却装置，其特征在于：

所述密封盖板（7）的表面涂设有低熔点的金属粉末，且密封盖板（7）可直接与靶材接触。