[实用新型]一种喷淋装置以及晶棒切割装置有效
| 申请号： | 202222385582.2 | 申请日： | 2022-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN218614806U | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 高东升;崔思远;吴琼琼;万里辉;钟后芳;沈勇发;金从龙 | 申请（专利权）人： | 江西兆驰半导体有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 李素兰 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及喷淋机械技术领域，尤其涉及一种喷淋装置以及晶棒切割装置。其中，该喷淋装置，包括喷淋管以及至少两个喷淋嘴，至少两个喷淋嘴间隔分布在喷淋管上且均连通至喷淋管，喷淋管内液体输出至各个喷淋嘴。各个喷淋嘴的喷射角度为145°‑155°，任意两个喷淋嘴之间的间距为86mm‑96mm。该喷淋装置通过优化喷淋嘴的喷射角度以及间距，来提升切割液喷洒均匀性，优化降温、润滑以及排屑能力。从而达到提升切割良率的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷淋 装置 以及 切割 | ||
【主权项】：
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