[实用新型]一种喷淋装置以及晶棒切割装置

说明书

本实用新型涉及喷淋机械技术领域，尤其涉及一种喷淋装置以及晶棒切割装置。其中，该喷淋装置，包括喷淋管以及至少两个喷淋嘴，至少两个喷淋嘴间隔分布在喷淋管上且均连通至喷淋管，喷淋管内液体输出至各个喷淋嘴。各个喷淋嘴的喷射角度为145°‑155°，任意两个喷淋嘴之间的间距为86mm‑96mm。该喷淋装置通过优化喷淋嘴的喷射角度以及间距，来提升切割液喷洒均匀性，优化降温、润滑以及排屑能力。从而达到提升切割良率的效果。

技术领域

本实用新型涉及喷淋机械技术领域，尤其涉及一种喷淋装置以及晶棒切割装置。

背景技术

制备蓝宝石衬底流程主要包含为切割、研磨、抛光三大领域。其中切割领域最为关键，决定衬底切割片源初始的良率及品质。

蓝宝石衬底切割的原理是通过一根高速运动的金刚线带动附着在钢丝上的金刚石颗粒对蓝宝石进行磨削的过程，从而达到切割效果。在整个切割过程中，钢线通过导线轮的引导，在主线辊上形成一张线网，而切割蓝宝石是通过工作台的下降实现工件的切割。切割过程中，金刚线对蓝宝石切割产生大量的热量及磨削产生的废料，故在此过程中切割液起到降温、润滑、排屑的作用。

目前的喷淋装置由于喷嘴密度较高，相邻喷嘴雾状喷出的切割液相互接触撞击后形成水珠，导致冲击力减弱，切割液喷出雾状均匀性下降。

实用新型内容

本实用新型实施例为了解决现有技术中的喷淋装置由于喷嘴密度较高，导致冲击力减弱，切割液喷出雾状均匀性下降的技术问题，提供一种喷淋装置以及晶棒切割装置。

为了解决上述技术问题，一方面，本实用新型实施例提供了一种喷淋装置，包括：

喷淋管；以及

至少两个喷淋嘴，至少两个所述喷淋嘴间隔分布在所述喷淋管上且均连通至所述喷淋管，所述喷淋管内液体输出至各个所述喷淋嘴，各个所述喷淋嘴的喷射角度为145°-155°，任意两个所述喷淋嘴之间的间距为86mm-96mm。

可选地，所述喷淋嘴包括连接部以及与所述连接部相连的液体反射部，所述连接部固定连接至所述喷淋管，所述连接部上设有第一进液孔，所述第一进液孔的进口连通所述喷淋管且其出口对应至所述液体反射部。

可选地，所述连接部的底部设有延伸部，所述液体反射部固定连接在所述延伸部的底部，所述连接部和所述液体反射部之间形成有缺口部。

可选地，所述液体反射部具有反射斜面，所述反射斜面设置在所述第一进液孔的出口的下方，所述延伸部围挡在所述反射斜面的后侧。

可选地，所述连接部的外侧面设有连接螺纹以及旋转操作部，所述旋转操作部驱动所述连接部旋转以螺接在所述喷淋管上。

可选地，多个所述喷淋嘴沿直线等距布置在所述喷淋管上。

可选地，所述喷淋管的上设有第二进液孔，所述第二进液孔的孔径大于所述第一进液孔的孔径。

另一方面，本实用新型实施例还提供了一种晶棒切割装置，包括：

线槽轮，所述线槽轮上设有切割线；

活动工作台，所述活动工作台用于放置晶棒，所述活动工作台移动使所述晶棒接触所述切割线；以及

所述的喷淋装置，所述喷淋装置喷射至所述晶棒与所述切割线的接触处。

可选地，该晶棒切割装置还包括机座，两个所述线槽轮相对设置在所述机座上，所述活动工作台设于两个所述线槽轮之间，两个所述喷淋装置分别设于两个所述线槽轮的上方，两个所述喷淋装置均向所述活动工作台的方向喷淋。

可选地，所述喷淋装置的两端分别设有直角安装件，所述机座的两侧均具有直角台阶部，两所述直角安装件均匹配固定至两所述直角台阶部上。