[实用新型]一种喷淋装置以及晶棒切割装置

权利要求书

1.一种喷淋装置，其特征在于，包括：

喷淋管；以及

至少两个喷淋嘴，至少两个所述喷淋嘴间隔分布在所述喷淋管上且均连通至所述喷淋管，所述喷淋管内液体输出至各个所述喷淋嘴，各个所述喷淋嘴的喷射角度为145°-155°，任意两个所述喷淋嘴之间的间距为86mm-96mm。

2.如权利要求1所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋嘴包括连接部以及与所述连接部相连的液体反射部，所述连接部固定连接至所述喷淋管，所述连接部上设有第一进液孔，所述第一进液孔的进口连通所述喷淋管且其出口对应至所述液体反射部。

3.如权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于，所述连接部的底部设有延伸部，所述液体反射部固定连接在所述延伸部的底部，所述连接部和所述液体反射部之间形成有缺口部。

4.如权利要求3所述的喷淋装置，其特征在于，所述液体反射部具有反射斜面，所述反射斜面设置在所述第一进液孔的出口的下方，所述延伸部围挡在所述反射斜面的后侧。

5.如权利要求2所述的喷淋装置，其特征在于，所述连接部的外侧面设有连接螺纹以及旋转操作部，所述旋转操作部驱动所述连接部旋转以螺接在所述喷淋管上。

6.如权利要求1至5中任一项所述的喷淋装置，其特征在于，多个所述喷淋嘴沿直线等距布置在所述喷淋管上。

7.如权利要求2至5中任一项所述的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋管的上设有第二进液孔，所述第二进液孔的孔径大于所述第一进液孔的孔径。

8.一种晶棒切割装置，其特征在于，包括：

线槽轮，所述线槽轮上设有切割线；

活动工作台，所述活动工作台用于放置晶棒，所述活动工作台移动使所述晶棒接触所述切割线；以及

如权利要求1至7中任一项所述的喷淋装置，所述喷淋装置喷射至所述晶棒与所述切割线的接触处。

9.如权利要求8所述的晶棒切割装置，其特征在于，还包括机座，两个所述线槽轮相对设置在所述机座上，所述活动工作台设于两个所述线槽轮之间，两个所述喷淋装置分别设于两个所述线槽轮的上方，两个所述喷淋装置均向所述活动工作台的方向喷淋。

10.如权利要求9所述的晶棒切割装置，其特征在于，所述喷淋装置的两端分别设有直角安装件，所述机座的两侧均具有直角台阶部，两所述直角安装件均匹配固定至两所述直角台阶部上。