[实用新型]一种卧式晶圆甩干机的翻转盖及晶圆甩干机有效
| 申请号： | 202222378853.1 | 申请日： | 2022-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN218545045U | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 欧阳小泉 | 申请（专利权）人： | 泉芯半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;F26B21/00;F26B25/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 无锡三合知识产权代理事务所(普通合伙) 32602 | 代理人： | 徐鹏飞 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种卧式晶圆甩干机的翻转盖及晶圆甩干机，该翻转盖包括盖体和上盖板，盖体上设置有腔体，腔体内通过定位件设置有用于对空气过滤的滤芯，上盖板密封固定于盖体的开口处，上盖板的中心处开设有进气口，上盖板上于进气口外能拆装地安装有过滤网，盖体的底板的中心处开设有位于同一圆周上且向下折弯的多个导流板，多个导流板与底板之间形成多个导流孔，空气经过多个导流孔后形成与甩干机的旋转甩干方向一致的旋转气流。上述卧式晶圆甩干机的翻转盖不仅结构简单，设计巧妙，而且能够大大降低了旋转架的空气阻力，有利于提高甩干效率和旋转架转动的平稳性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 卧式 晶圆甩干机 翻转 | ||
【主权项】：
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