[实用新型]一种卧式晶圆甩干机的翻转盖及晶圆甩干机

权利要求书

1.一种卧式晶圆甩干机的翻转盖，其包括机架和翻转盖，所述翻转盖的一端铰接于机架的非操作侧，其特征在于，所述翻转盖包括盖体和上盖板，所述盖体上设置有腔体，所述腔体内通过定位件设置有用于对空气过滤的滤芯，所述上盖板密封固定于所述盖体的开口处，所述上盖板的中心处开设有进气口，所述上盖板上于所述进气口外能拆装地安装有过滤网，所述盖体的底板的中心处开设有位于同一圆周上且向下折弯的多个导流板，所述多个导流板与底板之间形成多个导流孔，空气经过所述多个导流孔后形成与甩干机的旋转甩干方向一致的旋转气流。

2.根据权利要求1所述的卧式晶圆甩干机的翻转盖，其特征在于，所述翻转盖和滤芯均为方形结构，所述腔体内固定设置有四个定位件，所述定位件具有“L”形的定位角，所述四个定位件围成配合滤芯大小的定位区域，所述滤芯的四角通过四个定位件的定位角设置于所述腔体内。

3.根据权利要求1所述的卧式晶圆甩干机的翻转盖，其特征在于，所述机架上于所述翻转盖的两侧安装有至少一组用于检测片盒架内是否放置片盒的光电检测装置。

4.根据权利要求1所述的卧式晶圆甩干机的翻转盖，其特征在于，所述盖体的底面上于所述多个导流板的外围设置有一圈密封槽，所述密封槽内间隔开设有多个连接孔，多个固定件穿过对应的连接孔将密封圈固定于所述密封槽内。

5.根据权利要求1所述的卧式晶圆甩干机的翻转盖，其特征在于，所述进气口处设置有静电消除器，所述静电消除器位于所述过滤网和滤芯之间。

6.根据权利要求1所述的卧式晶圆甩干机的翻转盖，其特征在于，所述机架的非操作侧通过两个固定座安装有轴，所述轴的中心处能转动地铰接有翻转臂，所述翻转臂的一端连接有翻转气缸，另一端固定于所述盖体上。

7.根据权利要求6所述的卧式晶圆甩干机的翻转盖，其特征在于，所述轴上以翻转臂为对称线对称设置有两个铰接座，所述铰接座的一端能转动地铰接于轴上，另一端固定连接于所述盖体上。

8.根据权利要求7所述的卧式晶圆甩干机的翻转盖，其特征在于，所述翻转臂和铰接座与轴之间均设置有塑料衬套。

9.根据权利要求1所述的卧式晶圆甩干机的翻转盖，其特征在于，所述导流板设置有八个，包括呈三角形结构的四个第一导流板和呈直角梯形结构的四个第二导流板，所述第一导流板和第二导流板在同一圆周上交替布置。

10.一种晶圆甩干机，其特征在于，其包括所述权利要求1-9任一项所述的卧式晶圆甩干机的翻转盖。