[实用新型]一种用于晶圆盒自动装载机端口的前开式传送开闭机

摘要

本实用新型公开了一种用于晶圆盒自动装载机端口的前开式传送开闭机，涉及半导体晶圆制作技术领域，包括背板，所述滑动台上固定安装有开关门气缸，所述开关门气缸的驱动端上固定安装有活动门，所述活动门外活动安装有摆动架，所述活动门上设置有固定机构，所述固定机构包括第一斜块，两个所述滑动座上均固定安装有固定板，两个所述滑动座和安装槽的内壁之间均固定安装有第一弹簧，所述固定板上和第一斜块相对应的位置上固定安装有第二斜块，通过固定板对晶圆传输盒的门进行固定，通过夹持板相互靠近并对晶圆传输盒的门进行夹持，进一步提高了晶圆传输盒的门在活动门上的位置稳定性，避免晶圆传输盒的门由于位置不稳定发生掉落。