[实用新型]一种用于晶圆盒自动装载机端口的前开式传送开闭机

权利要求书

1.一种用于晶圆盒自动装载机端口的前开式传送开闭机，其特征在于，包括背板(1)，所述背板(1)上转动安装有电机丝杠(5)，所述电机丝杠(5)上设置有滑动台，所述滑动台上固定安装有开关门气缸(4)，所述开关门气缸(4)的驱动端上固定安装有活动门(3)，所述活动门(3)外活动安装有摆动架(2)，所述活动门(3)上设置有固定机构(6)，所述固定机构(6)包括第一斜块(61)，所述第一斜块(61)设置为两个，两个所述第一斜块(61)均固定安装在背板(1)上，所述活动门(3)内开设有安装槽(67)，所述安装槽(67)内活动安装有两个滑动座(69)，两个所述滑动座(69)上均固定安装有固定板(63)，两个所述滑动座(69)和安装槽(67)的内壁之间均固定安装有第一弹簧(610)，所述固定板(63)上和第一斜块(61)相对应的位置上固定安装有第二斜块(62)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒自动装载机端口的前开式传送开闭机，其特征在于，所述活动门(3)上固定安装有门吸盘(7)。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒自动装载机端口的前开式传送开闭机，其特征在于，所述活动门(3)上开设有第一矩形槽(65)，所述滑动座(69)的顶部贯穿第一矩形槽(65)。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆盒自动装载机端口的前开式传送开闭机，其特征在于，所述安装槽(67)内还活动安装有两个移动座(68)，两个所述移动座(68)上均固定安装有夹持板(64)，所述移动座(68)和安装槽(67)的内壁之间固定安装有第二弹簧(611)。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆盒自动装载机端口的前开式传送开闭机，其特征在于，所述活动门(3)上开设有第二矩形槽(66)，所述移动座(68)的顶部贯穿第二矩形槽(66)。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆盒自动装载机端口的前开式传送开闭机，其特征在于，所述滑动座(69)上固定安装有固定杆(612)，所述固定杆(612)上转动安装有滑轮(613)，所述移动座(68)上固定安装有安装杆(615)，所述安装杆(615)上固定安装有弧形块(614)，所述滑轮(613)的一侧和弧形块(614)的外表面相贴合。