[实用新型]一种用于晶圆盒自动装载机端口的前开式传送开闭机

说明书

本实用新型公开了一种用于晶圆盒自动装载机端口的前开式传送开闭机，涉及半导体晶圆制作技术领域，包括背板，所述滑动台上固定安装有开关门气缸，所述开关门气缸的驱动端上固定安装有活动门，所述活动门外活动安装有摆动架，所述活动门上设置有固定机构，所述固定机构包括第一斜块，两个所述滑动座上均固定安装有固定板，两个所述滑动座和安装槽的内壁之间均固定安装有第一弹簧，所述固定板上和第一斜块相对应的位置上固定安装有第二斜块，通过固定板对晶圆传输盒的门进行固定，通过夹持板相互靠近并对晶圆传输盒的门进行夹持，进一步提高了晶圆传输盒的门在活动门上的位置稳定性，避免晶圆传输盒的门由于位置不稳定发生掉落。

技术领域

本实用新型涉及半导体晶圆制作技术领域，具体涉及一种用于晶圆盒自动装载机端口的前开式传送开闭机。

背景技术

在半导体制造过程中，晶圆输送至关重要，专利公开号为CN215496650U的专利中公开了一种12寸晶圆片前开式传送盒开闭系统；采用电机丝杠实现活动门的上下升降、开关门气缸实现活动门的前后移动，使活动门通过门吸盘将FOUP门吸连，并通过门闩实现FOUP门与FOUP外壳的配合，从而实现FOUP的开闭；本系统还自带晶圆片状况检测功能，利用活动门带动FOUP门移动的过程，使检测传感器伸入FOUP内并同步升降，实现对晶圆片的扫描检测，后续可与上位机系统进行通讯。

但是，上述方案在通过吸盘将FOUP门吸连时，并没有在活动门上设置对FOUP门的固定机构，由于吸盘的吸力有限，无法对FOUP门在活动门上的位置稳定性进行保证，且一旦吸盘发生故障，则极易导致FOUP门掉落，对FOUP门造成损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于晶圆盒自动装载机端口的前开式传送开闭机，解决以下技术问题：

上述方案在通过吸盘将FOUP门吸连时，并没有在活动门上设置对FOUP门的固定机构，由于吸盘的吸力有限，无法对FOUP门在活动门上的位置稳定性进行保证，且一旦吸盘发生故障，则极易导致FOUP门掉落，对FOUP门造成损坏。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：

一种用于晶圆盒自动装载机端口的前开式传送开闭机，包括背板，所述背板上转动安装有电机丝杠，所述电机丝杠上设置有滑动台，所述滑动台上固定安装有开关门气缸，所述开关门气缸的驱动端上固定安装有活动门，所述活动门外活动安装有摆动架，所述活动门上设置有固定机构，所述固定机构包括第一斜块，所述第一斜块设置为两个，两个所述第一斜块均固定安装在背板上，所述活动门内开设有安装槽，所述安装槽内活动安装有两个滑动座，两个所述滑动座上均固定安装有固定板，两个所述滑动座和安装槽的内壁之间均固定安装有第一弹簧，所述固定板上和第一斜块相对应的位置上固定安装有第二斜块。

作为本实用新型进一步的方案：所述活动门上固定安装有门吸盘。

作为本实用新型进一步的方案：所述活动门上开设有第一矩形槽，所述滑动座的顶部贯穿第一矩形槽。

作为本实用新型进一步的方案：所述安装槽内还活动安装有两个移动座，两个所述移动座上均固定安装有夹持板，所述移动座和安装槽的内壁之间固定安装有第二弹簧。

作为本实用新型进一步的方案：所述活动门上开设有第二矩形槽，所述移动座的顶部贯穿第二矩形槽。

作为本实用新型进一步的方案：所述滑动座上固定安装有固定杆，所述固定杆上转动安装有滑轮，所述移动座上固定安装有安装杆，所述安装杆上固定安装有弧形块，所述滑轮的一侧和弧形块的外表面相贴合。

本实用新型的有益效果：