[实用新型]一种单晶硅片转运装置有效
申请号: | 202222360573.8 | 申请日: | 2022-09-06 |
公开(公告)号: | CN218706934U | 公开(公告)日: | 2023-03-24 |
发明(设计)人: | 黄鹏杰 | 申请(专利权)人: | 苏州协鑫光伏科技有限公司 |
主分类号: | B65G47/90 | 分类号: | B65G47/90 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶硅片转运装置,包括挂篮、转运机器人和用于旋转挂篮的旋转机构,挂篮的上下两端分别固定设置一块端板,挂篮的任意两个相对的侧面固定设置若干块相对的连接板,连接板的上下两端分别与端板固定连接,连接板远离挂篮的一侧开设滑槽;转运机器人内置带有坐标系的控制器,转运机器人的终端设置用于夹取挂篮的夹取装置,夹取装置包括横向气缸,横向气缸的左右两个输出端分别固定连接夹取板,夹取板的底部靠近横向气缸的一侧固定设置用于与滑槽相对应的夹取块。本实用新型的目的是提供一种能够高效转运清洗后的单晶硅片的转运装置。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 转运 装置 | ||
【主权项】:
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