[实用新型]一种单晶硅片转运装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶硅片转运装置，包括挂篮、转运机器人和用于旋转挂篮的旋转机构，挂篮的上下两端分别固定设置一块端板，挂篮的任意两个相对的侧面固定设置若干块相对的连接板，连接板的上下两端分别与端板固定连接，连接板远离挂篮的一侧开设滑槽；转运机器人内置带有坐标系的控制器，转运机器人的终端设置用于夹取挂篮的夹取装置，夹取装置包括横向气缸，横向气缸的左右两个输出端分别固定连接夹取板，夹取板的底部靠近横向气缸的一侧固定设置用于与滑槽相对应的夹取块。本实用新型的目的是提供一种能够高效转运清洗后的单晶硅片的转运装置。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产，尤其涉及一种单晶硅片转运装置。

背景技术

刚刚完成生产的单晶硅片，在其表面尤其是在侧面会附着大量生产中产生的印记，这些印记对单晶硅片的外观影响很大，因此在在单晶硅片生产后需要对单晶硅片进行清洗。

清洗后的单晶硅片需要转运至分选机对单晶硅片进行分选，最传统的转运方式是依靠人力进行，但是依靠人力转运存在如下缺点：1、转运作业劳动强度大，仅靠人力转运转运效率低；2、由于劳动强度大，导致工人的流动性大，工人的人力成本很高，也不便于企业进行生产管理。

为了解决人力转运的问题，随着科技的进步，市场上逐渐出现自动化转运装置，其原理是设置一个用于容纳单晶硅片的挂篮，清洗完毕的单晶硅片被装入挂篮，清洗装置和分选机中设置运输带，挂篮被运输带运输至分选机处，由分选机对挂篮中的单晶硅片进行分选。

但是现有的分选机存在如下问题：为了便于清洗完毕的单晶硅片装入挂篮，挂篮是横置在运输带上的，而分选机是纵向设置的，因此挂篮在运输至分选机后再进行旋转，但是在运输带上挂篮的位置可能会发生偏移，导致分选机不能顺利夹取挂篮进而进行旋转和分选，使得生产经常陷入停顿，影响企业生产效率。

发明内容

实用新型目的：本实用新型的目的是提供一种能够高效转运清洗后的单晶硅片的转运装置。

技术方案：本实用新型所述的一种单晶硅片转运装置，包括挂篮、转运机器人和用于旋转挂篮的旋转机构，所述挂篮的上下两端分别固定设置一块端板，挂篮的任意两个相对的侧面固定设置若干块相对的连接板，所述连接板的上下两端分别与端板固定连接，所述连接板远离挂篮的一侧开设滑槽；所述转运机器人内置带有坐标系的控制器，转运机器人的终端设置用于夹取挂篮的夹取装置，所述夹取装置包括横向气缸，所述横向气缸的左右两个输出端分别固定连接夹取板，所述夹取板的底部靠近横向气缸的一侧固定设置用于与滑槽相对应的夹取块。挂篮中与设置限位装置的侧面相对的侧面设置用于放入单晶硅片的开口；转运机器人内置的控制器带有坐标系，横向气缸的左右两个输出端张开；当需要夹取挂篮时，转运机器人的终端在控制器控制下移动至指定坐标点后，横向气缸的左右两个输出端带动夹取板向内收缩，直至夹取块与滑槽形成滑动连接，夹取装置向上移动，直至夹取块与滑槽的顶端相抵，以此实现夹取装置夹取挂篮并进行转运。

进一步地，所述横向气缸的下方滑动设置用于与挂篮的端板抵接的抵板，所述抵板能够调整夹取板与缸底板的相对位置，以方便夹取块更好地进入滑槽与滑槽形成滑动连接。

进一步地，所述横向气缸的底端固定设置缸底板，所述缸底板内滑动设置若干根滑杆，所述滑杆的底端与抵板固定连接，滑杆的外周套设弹簧，所述弹簧的上下两端分别与缸底板的底端及抵板的顶端抵接。设置弹簧能辅助抵板调整，以方便夹取块更好地进入滑槽与滑槽形成滑动连接。

进一步地，所述挂篮的两个端板上分别设置若干个用于旋转机构锁定的锁定凸起。

进一步地，所述挂篮中与设置连接板的侧面相邻的任意一个侧面设置用于限位单晶硅片的限位装置。所述限位装置可以是间隔设置的若干根限位杆，或者是开设若干个通口的限位板。

进一步地，所述旋转机构包括用于旋转挂篮的旋转板和水平设置的水平板，所述旋转板的一端与水平板转动连接，所述旋转板的至少一端设置用于锁定挂篮的锁定装置，旋转板的底部与旋转气缸的输出端转动连接。