[实用新型]一种单晶硅片转运装置

权利要求书

1.一种单晶硅片转运装置，其特征在于：包括挂篮（2）、转运机器人（3）和旋转机构（1），所述挂篮（2）的上下两端分别固定设置一块端板（21），挂篮（2）的任意两个相对的侧面固定设置若干块相对的连接板（22），所述连接板（22）的上下两端分别与端板（21）固定连接，所述连接板（22）远离挂篮（2）的一侧开设滑槽（221）；所述转运机器人（3）内置带有坐标系的控制器，转运机器人（3）的终端设置夹取装置（4），所述夹取装置（4）包括横向气缸（42），所述横向气缸（42）的左右两个输出端分别固定连接夹取板（43），所述夹取板（43）的底部靠近横向气缸（42）的一侧固定设置用于与滑槽（221）相对应的夹取块（431）。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片转运装置，其特征在于：所述横向气缸（42）的下方滑动设置抵板（46）。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片转运装置，其特征在于：所述横向气缸（42）的底端固定设置缸底板（44），所述缸底板（44）内滑动设置若干根滑杆（45），所述滑杆（45）的底端与抵板（46）固定连接，滑杆（45）的外周套设弹簧，所述弹簧的上下两端分别与缸底板（44）的底端及抵板（46）的顶端抵接。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片转运装置，其特征在于：所述挂篮（2）的两个端板（21）上分别设置若干个锁定凸起（24）。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片转运装置，其特征在于：所述挂篮（2）中与设置连接板（22）的侧面相邻的任意一个侧面设置限位装置。

6.根据权利要求1所述的一种单晶硅片转运装置，其特征在于：所述旋转机构包括旋转板（14）和水平设置的水平板（13），所述旋转板（14）的一端与水平板（13）转动连接，所述旋转板（14）的至少一端设置锁定装置，旋转板（14）的底部与旋转气缸（12）的输出端转动连接。

7.根据权利要求6所述的一种单晶硅片转运装置，其特征在于：所述旋转气缸（12）与水平面的夹角为30°～60°。

8.根据权利要求6所述的一种单晶硅片转运装置，其特征在于：所述锁定装置包括锁定板（17），所述锁定板（17）上滑动设置锁定块（16），所述锁定块（16）上设置锁定口，所述锁定块（16）的一侧与锁定气缸（18）连接。