[实用新型]电子束镀膜保护装置有效
| 申请号： | 202222347596.5 | 申请日： | 2022-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN217997301U | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 金晨;刘旭;吴子敬 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 陈永军 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种电子束镀膜保护装置，包括镀膜室、载具、电子枪和护板；载具具有用于收容蒸镀材料的容纳槽，位于所述镀膜室内；电子枪安装于所述镀膜室，向所述容纳槽内发射电子束形成电子束路径区域；护板中部贯穿设有供电子束穿过的让位孔，所述护板安装于所述镀膜室，位于电子束路径上，所述让位孔与所述电子束路径区域相适配，所述护板材质的熔点为1000℃以上。本申请通过设置有护板，当电子束在电子枪阳极出口附近失控时，电子束路径角度出现偏移现象，电子束直接打在护板上，防止电子束打在其他物体上造成损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 镀膜 保护装置 | ||
【主权项】：
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