[实用新型]电子束镀膜保护装置

说明书

本申请涉及一种电子束镀膜保护装置，包括镀膜室、载具、电子枪和护板；载具具有用于收容蒸镀材料的容纳槽，位于所述镀膜室内；电子枪安装于所述镀膜室，向所述容纳槽内发射电子束形成电子束路径区域；护板中部贯穿设有供电子束穿过的让位孔，所述护板安装于所述镀膜室，位于电子束路径上，所述让位孔与所述电子束路径区域相适配，所述护板材质的熔点为1000℃以上。本申请通过设置有护板，当电子束在电子枪阳极出口附近失控时，电子束路径角度出现偏移现象，电子束直接打在护板上，防止电子束打在其他物体上造成损坏。

技术领域

本申请涉及基材真空镀膜技术领域，尤其是涉及一种电子束镀膜保护装置。

背景技术

目前电子枪在真空镀膜、真空熔炼等行业应用比较广泛，热效率高、能量密度大、成膜快且可处理高熔点材料。但电子枪结构复杂，制造成本高，对其电路控制要求同样也很高，如果高压、电子束控制不当，很容易对膜层甚至是设备造成损坏。

蒸镀或熔炼时，通常会将电子束柱直径控制在3-10mm，以便获得极高的功率密度，在需要的角度范围内进行圆形、矩形或蛇形扫描，电子枪内部设有控制电子密度的聚束线圈及电子路径的扫描线圈，以及许多屏蔽、保护器件，使电子束不受外界干扰，所以电子束不会对电子枪本体造成破坏。但当电子束离开电子枪阳极出口后，会受到很多外界因素的影响，如电场、磁场、真空度、振动等，即使电子枪系统会做一些修正、限制及保护条件，但电子束的行走路径仍然存在不稳定因素，而电子束的功率密度又极高，在电子束经过的路径上任何物体都会被烧蚀，一旦电子束扫描区域出现异常波动，极有可能会烧坏周边物体，导致设备整体瘫痪，造成巨大损失。

实用新型内容

为了在电子束出现异常波动时，避免烧坏周边设备，本申请提供一种电子束镀膜保护装置。

本申请提供的一种电子束镀膜保护装置采用如下的技术方案：

一种电子束镀膜保护装置，包括：

镀膜室；

载具，具有用于收容蒸镀材料的容纳槽，位于所述镀膜室内；

电子枪，安装于所述镀膜室，向所述容纳槽内发射电子束形成电子束路径区域；以及，

护板，中部贯穿设有供电子束穿过的让位孔，所述护板安装于所述镀膜室，位于电子束路径上，所述让位孔与所述电子束路径区域相适配。所述护板材质的熔点为1000℃以上。

通过采用上述技术方案，由于护板的让位孔与电子束路径区域相适配，当电子束在电子枪阳极出口附近失控时，电子束路径角度出现偏移现象，电子束直接打在护板上，防止电子束打在其他物体上造成损坏。让位孔位于护板中部，使得护板位于电子束路径区域的周围，电子束路径朝任意方向偏移，均可打在护板上。由于护板的熔点为1000℃以上，即使大功率电子束也不能瞬间将其融化，可避免护板受到电子束的烧蚀。

可选的，还包括温度检测器，所述护板的材质具有导热性，所述温度检测器用于检测护板的温度。

通过采用上述技术方案，利用温度检测器实时检测护板的温度，便于发现电子束打在了护板上，及时关闭电子枪。

可选的，所述护板背对所述让位孔的外侧壁开设有内凹的插槽，所述温度检测器的探头插入所述插槽内。

通过采用上述技术方案，减小温度检测器探头与护板上电子束之间的距离，提高温度检测的准确性和及时性。

可选的，还包括控制器，所述控制器与所述温度检测器、电子枪电连接，所述控制器根据所述护板的温度对所述电子枪进行控制。

通过采用上述技术方案，控制器接收到温度检测器检测的温度，及时控制电子枪关闭，实现监测到电子束路径发生偏移自动关闭电子枪，避免对护板造成较大的损坏。