[实用新型]电子束镀膜保护装置

权利要求书

1.一种电子束镀膜保护装置，其特征在于，包括：

镀膜室（1）；

载具（2），具有用于收容蒸镀材料（100）的容纳槽（21），位于所述镀膜室（1）内；

电子枪（3），安装于所述镀膜室（1），向所述容纳槽（21）内发射电子束形成电子束路径（300）区域；以及，

护板（4），中部贯穿设有供电子束穿过的让位孔（41），所述护板（4）安装于所述镀膜室（1），位于电子束路径（300）上，所述让位孔（41）与所述电子束路径（300）区域相适配，所述护板（4）材质的熔点为1000℃以上。

2.根据权利要求1所述的电子束镀膜保护装置，其特征在于，还包括温度检测器（5），所述护板（4）的材质具有导热性，所述温度检测器（5）用于检测护板（4）的温度。

3.根据权利要求2所述的电子束镀膜保护装置，其特征在于，所述护板（4）背对所述让位孔（41）的外侧壁开设有内凹的插槽（42），所述温度检测器（5）的探头插入所述插槽（42）内。

4.根据权利要求2所述的电子束镀膜保护装置，其特征在于，还包括控制器，所述控制器与所述温度检测器（5）、电子枪（3）电连接，所述控制器根据所述护板（4）的温度对所述电子枪（3）进行控制。

5.根据权利要求4所述的电子束镀膜保护装置，其特征在于，还包括报警器，所述报警器和所述控制器电连接，用于在所述护板（4）的温度超过预设阈值时发出警报。

6.根据权利要求1至5任一项所述的电子束镀膜保护装置，其特征在于，所述电子枪（3）安装于所述镀膜室（1）外侧壁，所述镀膜室（1）设有与所述电子枪（3）相适配的通孔。

7.根据权利要求1至5任一项所述的电子束镀膜保护装置，其特征在于，所述护板（4）可拆卸安装于所述镀膜室（1）内。

8.根据权利要求7所述的电子束镀膜保护装置，其特征在于，所述护板（4）与所述镀膜室（1）内侧壁可拆卸连接，所述电子枪（3）安装于所述镀膜室（1）外侧壁，所述镀膜室（1）设有与所述电子枪（3）相适配的通孔，所述让位孔（41）与所述通孔相对。

9.根据权利要求1至5任一项所述的电子束镀膜保护装置，其特征在于，所述镀膜室（1）贯穿设有抽气口（11），所述抽气口（11）用于与抽真空装置连接。

10.根据权利要求1至5任一项所述的电子束镀膜保护装置，其特征在于，所述载具（2）为坩埚。